[实用新型]氮化硅生产用微孔陶瓷料盒

说明书

本实用新型公开了一种氮化硅生产用微孔陶瓷料盒，它包括盒体和盖板，其特征是：所述盒体由底板和侧板构成，所述底板、侧板和盖板均由微孔陶瓷材料制成，所述底板、侧板和盖板之间自然放置，烧结时能相互粘接在一起。所述底板和盖板上设置有凹槽，所述侧板的上下两端分别位于所述底板和盖板上设置的所述凹槽中。本实用新型采用微孔陶瓷作为料盒，透气性好，氮气能够充分包住硅粉颗粒，保证在反应过程中有充足的氮气供应，合成时间可缩短6小时以上，既提高生产效率又节约能源。

技术领域：

本实用新型涉及一种氮化硅生产设备，特别是涉及一种氮化硅生产用微孔陶瓷料盒。

背景技术：

氮化硅具有良好的抗热冲击性、抗氧化性、耐高温、耐腐蚀、化学稳定性高、强度高等一系列优异的热物理性能，是一种优良的高温结构材料。

氮化硅反应炉是在通入氮气、氩气、氢气的状态下把硅石烧制成氮化硅粉末，传统的氮化硅反应炉存在一些弊端：长期以来，人们在生产氮化硅过程中，采用不透气的材料制作料盒，在反应过程中，氮气不能完全包住氮化硅，造成反应不彻底且反应速度慢，生产成本高且质量品质低。

实用新型内容：

本实用新型所要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种设计合理、透气性好、温度均匀且缩短反应时间的氮化硅生产用微孔陶瓷料盒。

本实用新型的技术方案是：

所述盒体由底板和侧板构成，所述底板、侧板和盖板均由微孔陶瓷材料制成，所述底板、侧板和盖板之间自然放置，烧结时能相互粘接在一起。

所述底板和盖板上设置有凹槽，所述侧板的上下两端分别位于所述底板和盖板上设置的所述凹槽中。

所述盒体和盖板放置在氮化硅反应炉的炉膛内，并且在所述炉膛内设置有气体循环装置，所述气体循环装置包括轴流风扇和电机，所述轴流风扇设置在所述炉膛的下端，所述电机设置在炉壳外部，所述轴流风扇和所述电机通过磁耦合连接。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型采用微孔陶瓷作为料盒，透气性好，氮气能够充分包住硅粉颗粒，保证在反应过程中有充足的氮气供应，合成时间可缩短6小时以上，既提高生产效率又节约能源。

2、本实用新型根据需要，可以在底板和盖板上设置有凹槽，侧板的上下两端分别位于底板和盖板上设置的凹槽中，定位更准确，另外，料盒可以重复使用，降低成本。

3、本实用新型在炉膛内腔的托板下方设置轴流风扇，轴流风扇与外部的电机通过磁耦合连接，通过轴流风扇的作用，使炉膛内的温度达到充分的均匀，保证了产品质量。

4、本实用新型设计合理、透气性好、温度均匀且缩短反应时间，易于推广实施，具有良好的经济效益。

附图说明：

图1为氮化硅生产用微孔陶瓷料盒的结构示意图。

具体实施方式：

实施例：参见图1，图中，1-底板，2-侧板，3-盖板。

氮化硅生产用微孔陶瓷料盒包括盒体和盖板3，其中：盒体由底板1和侧板2构成，底板1、侧板2和盖板3均由微孔陶瓷材料制成，底板1、侧板2和盖板3之间自然放置，烧结时能相互粘接在一起。

优选地，底板1和盖板2上设置有凹槽，侧板2的上下两端分别位于底板1和盖板3上设置的所述凹槽中，便于精确定位。

盒体和盖板3放置在氮化硅反应炉的炉膛内，并且在炉膛内设置有气体循环装置，气体循环装置包括轴流风扇和电机，轴流风扇设置在炉膛的下端，电机设置在炉壳外部，轴流风扇和电机通过磁耦合连接。通过轴流风扇的作用，使炉膛内的温度达到充分的均匀，保证了产品质量。