[实用新型]多功能连接法兰

说明书

技术领域

本实用新型涉及法兰连接技术，特别是涉及一种多功能连接法兰。

背景技术

最近几年，由于太阳能是一种取之不尽用之不竭的新能源，关于太阳能的产品和技术得到了长足的进步与发展。CIGS薄膜太阳能电池是全球光伏领域的开创性成果，是新一代最具竞争力的商业化薄膜太阳能电池，具有电池性能稳定、抗辐照性能好、制造成本低、转换效率高等优点。CIGS生产线包括很多工艺过程，其核心设备是镀膜设备。镀膜设备主要采用磁控溅射镀膜和蒸发镀膜的方法，这些镀膜方法都需要在真空环境下进行。前电极透明导电氧化物——AZO的生产工艺是采用的磁控溅射技术。

AZO磁控溅射需要在一腔体内完成，腔体内良好、稳定的真空度是开展AZO磁控溅射工艺的重要条件。在实际生产中，需要使用不同等级的真空泵对该腔体抽真空。由于不同等级的真空泵的泵体法兰不同，腔体亦需要设计不同的法兰连接，使腔体能够与不同等级的真空泵密封相连。然而，腔体的体积较大，造价较高，一旦加工完成，很难改造。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型要解决的技术问题在于提供一种多功能连接法兰，使AZO磁控溅射的腔体能够连接多种真空泵，扩大了设备的适用范围，节省了生产成本，从而使生产线具有更大的灵活性和更大的利用价值。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种多功能连接法兰，包括第一法兰和第二法兰，第一法兰包括具有中心通孔的第一法兰盘，第一法兰盘上周向均布多个第一连接孔，第二法兰包括具有中心通孔的第二法兰盘，第二法兰盘的两端面均为密封面，第二法兰盘上的至少两个同心圆上分别均布多个第二连接孔，且同心圆的圆心为第二法兰盘的中心，其中一个同心圆上的第二连接孔与所述第一连接孔相匹配。

优选地，除了与所述第一连接孔相匹配的第二连接孔外，剩余的第二连接孔均为螺纹盲孔。

优选地，所述第一法兰盘的一端面为密封面，第一法兰盘的另一端面设有由中心通孔的孔壁沿轴向延伸形成的连接管。

优选地，所述第一法兰盘的密封面的粗糙度为1.6～3.2μm。

优选地，所述第二法兰盘的两密封面的粗糙度均为1.6～3.2μm。

优选地，还包括设在所述第二法兰盘上的O型密封圈。

优选地，所述第二法兰盘的密封面上设有用于安装所述O型密封圈的环形槽。

优选地，在所述同心圆中最小圆的直径大于所述环形槽的直径。

优选地，在所述同心圆中最大圆的直径等于所述第一连接孔的中心圆直径。

如上所述，本实用新型的多功能连接法兰，具有以下有益效果：本实用新型的第一法兰使AZO磁控溅射的腔体能够与一种真空泵的泵体法兰相连，对应相连后的第一法兰和第二法兰使上述腔体能够与多种真空泵的泵体法兰相连；本实用新型扩大了上述腔体的适用范围，节省了生产成本，从而使生产线具有更大的灵活性和更大的利用价值。

附图说明

图1显示为本实用新型的多功能连接法兰的装配示意图；

图2显示为第一法兰的示意图；

图3显示为第二法兰的示意图。

元件标号说明

1 第一法兰

11第一法兰盘

12第一连接孔

13连接管

2 第二法兰

21第二法兰盘

22第二连接孔

221 螺纹盲孔

23环形槽

3 真空泵

31泵体法兰

4 腔体

D12 第一连接孔的中心圆直径

D221在同心圆中最大圆的直径

D222在同心圆中最小圆的直径

D23 环形槽的直径

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。