[实用新型]一种太阳能电池片钝化用Al2O3镀膜系统

权利要求书

1.一种太阳能电池片钝化用Al₂O₃镀膜系统，其特征在于，包括依次连接的上料台、红外加热腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二、卸载腔、缓存台及自动上下料装置，两端的所述上料台及自动上下料装置通过系统底部设置的下传输装置连通以用于将装载有待镀膜硅片的载板从所述自动上下料装置传输至所述上料台；

所述工艺腔包括：设置在所述工艺腔底部的底部加热器，设置在所述底部加热器上方的至少一个离子源，对应设置在所述离子源侧部的侧部加热器，及设置于所述离子源两侧的分气块。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片钝化用Al₂O₃镀膜系统，其特征在于，所述离子源的下方两侧还设置有陶瓷板。

3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池片钝化用Al₂O₃镀膜系统，其特征在于，所述工艺腔包括并列设置在所述底部加热器上方的两个所述离子源以用于将O₂或N₂O通入工艺腔的腔体，对应设置在两个所述离子源侧部的两个所述侧部加热器，及设置于所述离子源两侧的所述分气块，即两个所述离子源的两侧及中间共设置有三个所述分气块以用于将携带有三甲基铝的N₂或Ar通入所述工艺腔的腔体；每个所述离子源的下方两侧均设置有陶瓷板以用于隔离三甲基铝与O₂或N₂O并起绝缘作用。