[实用新型]便于石英舟运输的石英舟装置有效
申请号: | 201721133557.8 | 申请日: | 2017-09-05 |
公开(公告)号: | CN207338335U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 王晨;袁华斌;符亮 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 便于 石英 运输 装置 | ||
本实用新型涉及石英舟设备技术领域,尤其是涉及一种便于石英舟运输的石英舟装置,包括两个上支撑杆、两个下支撑杆、左挡板、右挡板、加强板和把手,所述上支撑杆和下支撑杆均设置在所述左挡板和右挡板之间,所述上支撑杆和所述下支撑杆相互平行设置,所述上支撑杆位于所述下支撑杆上方,两个所述下支撑杆位于两个所述上支撑杆之间,所述上支撑杆和所述下支撑杆上均开设有相对应的卡槽,所述把手通过所述加强板设置在所述左挡板和右挡板上,本实用新型便于石英舟运输的石英舟装置在使用时,通过在左挡板和右挡板远离下支撑杆的一端上设置把手,工作人员通过把手能够快速方便的对石英舟进行搬运,提高了工作效率,也不会碰伤硅片。
技术领域
本实用新型涉及石英舟设备技术领域,尤其是涉及一种便于石英舟运输的石英舟装置。
背景技术
硅片在加工时需要集中放置在石英舟上进行处理,现有石英舟员工在运输石英舟时,由于石英舟两侧开口用于握取处较窄且开口处较小,可能引起石英舟断裂,并且员工操作不便,只能单手操作,比较费时费工,增加了生产成本。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了解决由于石英舟两侧开口用于握取处较窄且开口处较小,可能引起石英舟断裂,并且员工操作不便的问题,现提供了一种便于石英舟运输的石英舟装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种便于石英舟运输的石英舟装置,包括两个上支撑杆、两个下支撑杆、左挡板、右挡板、加强板和把手,所述上支撑杆和下支撑杆均设置在所述左挡板和右挡板之间,所述上支撑杆和所述下支撑杆相互平行设置,所述上支撑杆位于所述下支撑杆上方,两个所述下支撑杆位于两个所述上支撑杆之间,所述上支撑杆和所述下支撑杆上均开设有相对应的卡槽,所述把手通过所述加强板设置在所述左挡板和右挡板上,所述把手位于所述左挡板或右挡板远离下支撑杆的一端。通过在左挡板及右挡板远离下支撑杆的一端设置把手,并且把手是通过加强板与左挡板及右挡板固定连接,提高了把手的连接强度,同时也可以方便工作人员搬运。
为保证加强板稳定可靠,进一步地,所述加强板的横截面面积由上支撑杆向下支撑杆方向渐增,所述把手位于所述下支撑杆处。使得加强板呈三角形结构,使得加强板结构更加稳定可靠。
本实用新型的有益效果是:本实用新型便于石英舟运输的石英舟装置在使用时,通过在左挡板和右挡板远离下支撑杆的一端上设置把手,工作人员通过把手能够快速方便的对石英舟进行搬运,提高了工作效率,也不会碰伤硅片,避免了现有石英舟员工在运输石英舟时,由于石英舟两侧开口用于握取处较窄且开口处较小,可能引起石英舟断裂,并且员工操作不便,只能单手操作,比较费时费工,增加了生产成本的问题。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的主视图;
图2是本实用新型的俯视图。
图中:1、上支撑杆,2、下支撑杆,3、左挡板,4、右挡板,5、加强板,6、把手,7卡槽。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
实施例
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造