[实用新型]一种真空腔体用小型多叶片式节流阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及节流阀尤其涉及一种真空腔体用小型多叶片式节流阀。

背景技术

在现有的真空腔体中，为了控制惰性气体的流动，常常采用叶片式节流阀进行流量的控制；但是，在控制叶片式节流阀开关闭合的状态上常采用手动调节开关的大小；在实际的生产应用中无法实现较为精确的控制以及自动控制叶片式节流阀的开关闭合；镀膜工艺无法实现自动化控制，同时，手动调节叶片式节流阀操作不方便、开关闭合的程度无法掌控。

实用新型内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，本实用新型目的实现一种真空腔体用小型多叶片式节流阀，包括法兰、固定套环、叶片、主轴、转动执行装置，所述的法兰的内圈设置固定套环，其特征在于，所述的固定套环的内部设置若干个叶片；所述叶片呈上下对称设置；每个所述叶片的背面铆接一转轴；所述的转轴的两端穿过固定套环与法兰连接；每个所述叶片的上方设置一轴座；所述的每个轴座的中间开设一凹槽，在凹槽中设置一轴套；将所述的每个轴套用联动推杆串联；在所述的法兰的对称轴上的转轴依次穿过固定套环、法兰与转动执行装置连接。

进一步所述的法兰上沿圆周方向设置若干个通孔。

进一步所述的叶片的边缘与固定套环的内侧贴合；所述的叶片的前、后的表面呈波纹状。

进一步所述的主轴上套入一个转动密封件；在转动密封件的右侧设置一支撑轴承座；在支撑轴承座设置一联轴器；所述的联轴器将主轴与转动执行装置连接。

优选地，所述的转动执行装置为电动执行器。

优选地，所述的转动执行装置为伺服电机和步进电机中的任意一种。

优选地，所述的转动执行装置为转动气缸。

本实用新型的技术效果在于采用了多叶片式的结构以及采用联动推杆串联叶片的结构；配合转动执行装置可以实现远程自动化的控制的同时，多叶片式节流阀的开合角度受到转动执行装置的控制；从而保证了多叶片式节流阀的控制精度。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

图2是本实用新型的主视图。

图3是本实用新型的后视图。

图4是本实用新型的第二实施例的示意图。

图5是本实用新型的第三实施例的示意图。

图6是本实用新型的轴座的示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

结合附图1、附图2、附图3、附图6所示，本实施例1中公开了一种真空腔体用小型多叶片式节流阀，包括法兰1、固定套环2、叶片3、主轴10、转动执行装置8，将法兰1的内圈设置固定套环2，在固定套环2的内部设置若干个叶片3；叶片3呈上下对称设置；每个所述叶片3的背面铆接一转轴10；转轴10的两端穿过固定套环2与法兰1连接；每个所述叶片3的上方设置一轴座4；在每个轴座4的中间开设一凹槽41，在凹槽41中设置一轴套6；将每个轴套6用联动推杆5串联；在所述的法兰1的对称轴上的转轴10依次穿过固定套环2、法兰1与转动执行装置8连接。

在本实施例中将主轴10固定在在法兰1的对称轴上并与其中的在对称轴上的叶片3进行连接；在采用联动推杆5串联每一个的叶片形成了本实用新型的多叶片式节流阀的主要结构，将叶片分成多叶片的形式；可以更好地控制在真空腔体中的惰性气体的流量；同时通过主轴主轴10连接转动执行装置8，实现自动控制，解决了远程自动化的控制的同时，也实现了多叶片式节流阀的控制精度。

再结合，附图1说明在实施例中将法兰1上沿圆周方向设置若干个通孔。便于本实用新型的多叶片式节流阀的安装。

再结合，附图1说明，为了保证，叶片3与固定套环2之间边缘的密封作用，将叶片3的边缘与固定套环2的内侧贴合；为了使引导气体的流动，将叶片3的前、后的表面呈波纹状。

结合附图1、附图4、附图5.所示，在主轴10上套入一个转动密封件7；在转动密封件7的右侧设置一支撑轴承座71；在支撑轴承座71设置一联轴器72；联轴器72将主轴10与转动执行装置8连接。

结合附图1所示，在本实用新型的实施例1中采用的转动执行装置8为电动执行器。

结合附图4所示，在本实用新型的实施例2中采用的转动执行装置8为伺服电机和步进电机中的任意一种。