[实用新型]一种电容式薄膜真空压力传感器有效
| 申请号： | 201721137658.2 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN207248416U | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 周继平 | 申请（专利权）人： | 宁国市大荣电器有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L19/08 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 242300 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电容 薄膜 真空 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种电容式薄膜真空压力传感器，其特征在于：包括壳体，壳体内设置上电极，所述上电极上设置调整电路组件，所述调整电路组件与电连接组件电连接，所述电连接组件伸出壳体并与显示组件连接，所述上电极和壳体底部形成空腔，在空腔中部设置一薄膜，所述薄膜和上电极之间形成测量空腔，所述薄膜和壳体底部之间形成真空空腔，所述测量空腔的侧壁上设置进气管，所述壳体底部设置抽真空管，所述抽真空管探入真空空腔内，所述抽真空管中部设置测压表，所述抽真空管的另一端设置抽真空装置。
2.根据权利要求1所述的一种电容式薄膜真空压力传感器，其特征在于：所述电连接组件与壳体之间设置密封圈。
3.根据权利要求1所述的一种电容式薄膜真空压力传感器，其特征在于：所述进气管与壳体之间设置密封圈。
4.根据权利要求1所述的一种电容式薄膜真空压力传感器，其特征在于：所述抽真空管与壳体之间设置密封圈。
5.根据权利要求1所述的一种电容式薄膜真空压力传感器，其特征在于：薄膜的厚度为0.05mm。
6.根据权利要求1所述的一种电容式薄膜真空压力传感器，其特征在于：薄膜与上电极之间的距离为2mm。
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