[实用新型]一种高效连续曝光机有效

专利信息
申请号: 201721138072.8 申请日: 2017-09-06
公开(公告)号: CN207337071U 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 曾旭 申请(专利权)人: 宁波东盛集成电路元件有限公司;宁波东顺电子科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 俞涤炯
地址: 315000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 高效 连续 曝光
【权利要求书】:

1.一种高效连续曝光机,其特征在于,包括:

曝光平台;

传送带装置,所述传送带装置包括第一带式传送机和若干框架结构;若干所述框架结构沿所述第一带式传送机的长度方向设置于所述第一带式传送机的传送带上;每一所述框架结构的边缘设有卡嵌孔;

若干光强传感器,若干所述光强传感器成矩形阵列设置于所述框架结构内;

曝光装置,所述曝光装置包括第二带式传送机、上下移动装置和若干曝光机;所述第二带式传送机的传送带沿其长度方向设有若干上下移动装置,每一所述上下移动装置设有一曝光机,每一所述曝光机正对一所述框架结构。

2.根据权利要求1所述一种高效连续曝光机,其特征在于,所述曝光机包括盖体、若干发光部件和若干卡嵌装置;所述上下移动装置设有一所述盖体,所述盖体的开口背向所述第二带式传送机,所述盖体内设有若干发光部件;所述盖体的边缘设有若干所述卡嵌装置,每一所述卡嵌装置嵌入一相正对的一所述卡嵌孔。

3.根据权利要求1所述一种高效连续曝光机,其特征在于,若干所述光强传感器设置于待曝光金属片放置范围内,所述待曝光金属片上预制若干通孔使每一所述光强传感器的传感部露出。

4.根据权利要求3所述一种高效连续曝光机,其特征在于,每一所述待曝光金属片设置于所述框架结构内。

5.根据权利要求1所述一种高效连续曝光机,其特征在于,吸尘装置,位于所述第一带式传送机的出口的上方设置有一所述吸尘装置,所述吸尘装置靠近所述第一带式传送机。

6.根据权利要求1所述一种高效连续曝光机,其特征在于,所述第一带式传送机的速度等于所述第二带式传送机的速度。

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