[实用新型]一种超快脉冲激光用流动液体环境加工装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种超快脉冲激光加工装置，具体地说是一种超快脉冲激光用流动液体环境加工装置。

背景技术

超快脉冲激光采用啁啾脉冲放大技术，能在瞬间产生峰值功率达到TW（1012W）、甚至PW（1015W）量级的超强超短脉冲输出，可直接将被辐照材料气化。另外，超快脉冲激光加工精度极高，加工精度可精确到微米。超快脉冲激光由于此特点近年来被应用在医学、科研、通信、制造和国防等领域。在科研和制造领域，尽管超快脉冲激光可使被加工材料直接气化，但是由于气化物质还处于加工点附近，激光能量消失瞬间会重新凝华，牢牢粘贴在加工表面，影响加工质量，降低科学研究价值、造成工业产品质量达不到最佳。另外，加工材料暴露在空气中，在脉冲激光高能量辐照下，加工材料气化的同时被氧化，使材料改性，氧化层也会影响后续的化学处理效果。近年来，国内一些从事超快激光的科研机构自制一些简单的水下加工装置，但均不能实现加工环境液体的流动，虽避免了加工过程中材料氧化，但是不能冲走加工产生的气化材料，另外不能完全排出加工装置内气泡，振动环境下气泡的浮动可造成激光光路改变，影响加工效果。因此，有必要提供一种新型超快脉冲激光用流动液体环境加工装置，来克服上述缺陷，满足从事和超快脉冲激光相关的科研工作者和制造业技术人员的特殊需求。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型提供一种超快脉冲激光用流动液体环境加工装置，以解决上述的问题。

本实用新型采用以下技术方案：

一种超快脉冲激光用流动液体环境加工装置，

包括储液箱4、液体加工舱6、水泵7，液体加工舱6和储液箱4之间通过进液管道9连接，进液管道9上设置将储液箱4中的液体泵入液体加工舱6的水泵7，液体加工舱6和储液箱4之间设置将液体加工舱6内的液体回流入储液箱4内的液体回收管道2；

所述液体加工舱6内具有载物台。

所述液体加工舱6和液体回收管道2之间连接有防虹吸装置1，防虹吸装置1位于液体加工舱6的顶部。

所述防虹吸装置1包括内部为空腔的外壳，外壳上具有与液体加工舱6连通的防虹吸装置液体输入口13、与储液箱4连通的防虹吸装置液体输出口12和与外部连通的进气口11。

所述载物台的载物面位于液体加工舱6的中心。

所述液体加工舱6和储液箱4均为透明的亚克力材质。

所述储液箱4内设置与进液管道9连接的过滤器10。

所述储液箱4的容积不小于液体加工舱4容积的五倍。

所述储液箱4内的液体存量不小于其容积的四分之三。

所述储液箱4上具有通过橡胶塞密封的进液口8和排液口5。

本实用新型的有益效果：

该加工装置可为超快脉冲激光加工提供流动液体环境，一方面在液体环境中可防止材料在脉冲激光高能量下被氧化改性，另一方面可利用流动液体将激光加工产生的重铸层随液流冲走，防止其凝华在加工位置；通过设置在液体加工舱上的防虹吸装置，可防止液体加工舱内由于虹吸和液体加工舱本身气密性原因出现气泡，改变激光光路；设置在液体加工舱底部的水箱可为整个加工装置提供配重，防止激光精密加工过程中产生振动。

附图说明

图1为本超快脉冲激光用流动液体环境加工装置示意图。

图2为防虹吸装置示意图。

其中，1：防虹吸进气舱，2：液体回收管路，3：由扫描振镜导引的脉冲激光，4：储液箱，5：排液口，6：液体加工舱，7：微振动水泵，8:进液口，9：进液管道，10：过滤器，11：进气口，12：防虹吸装置液体输出口；13：防虹吸装置液体输入口。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。

本实用新型提供一种超快脉冲激光用流动液体环境加工装置，包括储液箱4、液体加工舱6、水泵7，液体加工舱6和储液箱4之间通过进液管道9连接，进液管道9上设置微振动水泵7，用于将储液箱4中的液体泵入液体加工舱6中。液体加工舱6的顶部和储液箱4之间还设置将液体加工舱6内的液体回流入储液箱4内的液体回收管道2，为了防止在液体加工舱中出现气泡，液体加工舱6的顶部和液体回收管道2之间连接有防虹吸装置1。防虹吸装置1包括内部为空腔的外壳，外壳下部具有与液体加工舱6连通的防虹吸装置液体输入口13，壳体侧部具有与储液箱4连通的防虹吸装置液体输出口12，壳体顶部具有与外部连通的进气口11。