[实用新型]一种防破片单面减薄蚀刻承载篮具有效
| 申请号： | 201721141453.1 | 申请日： | 2017-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN207375957U | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 茆令文;鲍兆臣;张少波;徐翠珍;杨金发;谢加加;唐寿武;陶明山;郭浩凌 | 申请（专利权）人： | 凯盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 破片 单面 蚀刻 承载 | ||
【权利要求书】：
1.一种防破片单面减薄蚀刻承载篮具，包括底座，底座上平行间隔设置有一组基片架，其特征在于，每个基片架均包含竖直的立架与倾斜的支撑架，立架与支撑架在顶部相连使基片架在底座上形成直角三角形；所述支撑架铺设有与玻璃基板尺寸相适应的PVC板，PVC板上设有通孔阵列，PVC板的外表面设有耐酸垫片阵列，通孔阵列与耐酸垫片阵列交错间隔分布。
2.根据权利要求1所述的一种防破片单面减薄蚀刻承载篮具，其特征在于，所述支撑架与底座之间的夹角为80～85°。
3.根据权利要求1或2所述的一种防破片单面减薄蚀刻承载篮具，其特征在于，所述通孔阵列为方孔阵列。
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