[实用新型]一种电子扫描显微镜可调光阑

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子显微镜技术领域，更具体地说，涉及一种电子扫描显微镜可调光阑。

背景技术

光阑在电子显微镜中用于对电子束进行限制，目前使用的光阑其孔径调节结构较为复杂，控制调节不便，且制造成本高。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种电子扫描显微镜可调光阑。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

构造一种电子扫描显微镜可调光阑，包括镜筒；其中，所述镜筒内壁设置有可调光阑；所述可调光阑一端设置有纵向通孔，另一端设置有步进电机；所述可调光阑内部设置有与所述步进电机活动端固定连接的转轴，和安装所述转轴的安装腔；所述安装腔朝向所述通孔侧壁设置有与所述通孔连通的多个横向凹槽；所述凹槽内设置有调节片，所述调节片上设置有调节孔和与所述通孔对应的避让槽；所述调节片背离所述转轴一端与所述凹槽背离所述转轴一侧通过复位弹簧连接；所述转轴上设置有多个与所述调节片一一对应的凸轮。

本实用新型所述的电子扫描显微镜可调光阑，其中，所述镜筒侧壁设置有为所述步进电机过线的过线孔；所述过线孔内设置有密封件。

本实用新型所述的电子扫描显微镜可调光阑，其中，所述安装腔上设置有与所述步进电机活动端对于的开口，所述开口处设置有与所述步进电机活动端配合的轴承座。

本实用新型所述的电子扫描显微镜可调光阑，其中，多个所述调节孔大小均不相同，且由上至下孔径逐渐减小。

本实用新型的有益效果在于：通过控制步进电机转动，带动转轴转动，转轴上的凸轮转动到对应的调节片位置时挤压调节片，使得调节片压入凹槽内部至调节孔与通孔正对，步进电机转动不同的步距则带动不同的调节片压入凹槽，达到快速调节光阑孔径目的，结构简单，成本低，调节速度快，易于控制调节，且尤其适用在高真空镜筒中。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，下面描述中的附图仅仅是本发明的部分实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图：

图1是本实用新型较佳实施例的电子扫描显微镜可调光阑结构示意图；

图2是本实用新型较佳实施例的电子扫描显微镜可调光阑调节片结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

本实用新型较佳实施例的电子扫描显微镜可调光阑如图1所示，同时参阅图2，包括镜筒1，镜筒1内壁设置有可调光阑；可调光阑一端设置有纵向通孔20，另一端设置有步进电机21；可调光阑内部设置有与步进电机21活动端固定连接的转轴22，和安装转轴22的安装腔23；安装腔23朝向通孔20侧壁设置有与通孔20连通的多个横向凹槽230；凹槽230内设置有调节片231，调节片231上设置有调节孔232和与通孔20对应的避让槽233；调节片231背离转轴22一端与凹槽230背离转轴22一侧通过复位弹簧234连接；转轴22上设置有多个与调节片231一一对应的凸轮220；通过控制步进电机21转动，带动转轴22转动，转轴22上的凸轮220转动到对应的调节片231位置时挤压调节片231，使得调节片231压入凹槽230内部至调节孔232与通孔20正对，步进电机21转动不同的步距则带动不同的调节片231压入凹槽230，达到快速调节光阑孔径目的，结构简单，成本低，调节速度快，易于控制调节，且尤其适用在高真空镜筒中。

如图1所示，镜筒1侧壁设置有为步进电机21过线的过线孔10；过线孔10内设置有密封件100；保障镜筒1的密封性能，且装配与调节均十分方便。

如图1所示，安装腔23上设置有与步进电机21活动端对于的开口235，开口235处设置有与步进电机21活动端配合的轴承座236；保证运转时的顺畅，同时避免灰尘进入安装腔23内造成影响。

如图1和图2所示，多个调节孔232大小均不相同，且由上至下孔径逐渐减小，便于调节控制。

应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。