[实用新型]一种反应腔导流装置

权利要求书

1.一种反应腔导流装置，其特征在于，所述反应腔导流装置包括第一导流鳍(11)和第二导流鳍(12)，所述第一导流鳍(11)和第二导流鳍(12)互相配合形成导流空间(7)，所述导流空间(7)中第一导流鳍(11)和第二导流鳍(12)之间的间距沿流体的流向逐渐减小、且至少部分的用于形成导流空间(7)的导流鳍(1)的表面为柔性表面，所述第一导流鳍(11)和/或第二导流鳍(12)中还设有用于调节柔性表面形状从而调节导流空间(7)形状的导流面调节件(3)。

2.如权利要求1所述的一种反应腔导流装置，其特征在于，所述导流面调节件(3)为用于调节柔性表面形状从而调节导流空间(7)形状以使得导流空间(7)内的流体形成稳定流体的导流面调节件(3)。

3.如权利要求2所述的一种反应腔导流装置，其特征在于，所述稳定流体为雷诺数不高于5000的流体。

4.如权利要求1所述的一种反应腔导流装置，其特征在于，还包括待处理器件(6)，所述待处理器件(6)至少部分地位于导流空间(7)内，所述柔性表面包括待处理器件(6)表面沿流体流向的0.8倍～1倍最大曲率的部分以垂直于流体的流动方向在导流鳍(1)上的投影。

5.如权利要求1所述的一种反应腔导流装置，其特征在于，所述反应腔导流装置为三维钝体表面沉积反应腔导流装置；

或，所述反应腔导流装置为三维钝体表面原子层沉积反应腔导流装置。

6.如权利要求1所述的一种反应腔导流装置，其特征在于，所述导流面调节件(3)的位置与柔性表面相配合；

所述导流面调节件(3)为沿导流空间(7)延伸方向延伸的柱体；

所述导流面调节件(3)通过偏心的转动轴(42)与导流鳍(1)的内壁相连；

所述导流面调节件(3)上还设有用于带动导流面调节件转动的第一传动杆(41)；

所述导流面调节件(3)上与柔性表面接触的部分为光滑曲面。

7.如权利要求6所述的一种反应腔导流装置，其特征在于，导流面调节件(3)的一端通过偏心的转动轴(42)与导流鳍(1)的内壁相连，第一传动杆(41)位于导流面调节件(3)的另一端。

8.如权利要求6所述的一种反应腔导流装置，其特征在于，还包括驱动器，所述驱动器与第一传动杆(41)传动；

所述第一传动杆(41)为柔性材料。

9.如权利要求1所述的一种反应腔导流装置，其特征在于，所述第一导流鳍(11)和/或第二导流鳍(12)上还分别设有导流鳍位置调节件(5)；

所述第一导流鳍(11)和/或第二导流鳍(12)上还设有柔性支撑件。

10.如权利要求9所述的一种反应腔导流装置，其特征在于，所述导流鳍位置调节件(5)包括用于带动导流鳍转动的第二传动杆(51)；

所述第二传动杆(51)为柔性材料；

所述导流鳍位置调节件(5)包括用于带动导流鳍平动的第三传动杆(52)；

所述第一导流鳍(11)和/或第二导流鳍(12)为沿导流空间(7)延伸方向延伸的柱体；

所述导流鳍位置调节件(5)位于导流鳍的一端。

11.如权利要求9所述的一种反应腔导流装置，其特征在于，还包括驱动器，所述驱动器与导流鳍位置调节件(5)传动。

12.一种空气动力学反应腔，其特征在于，所述空气动力学反应腔包括如权利要求1-11任一权利要求所述的反应腔导流装置。