[实用新型]一种空气动力学反应装置

权利要求书

1.一种空气动力学反应装置，其特征在于，所述空气动力学反应装置包括反应腔(1)和进气整流罩(2)，所述进气整流罩(2)包括进气整流罩流体入口(21)和进气整流罩流体出口(22)，所述进气整流罩流体出口(22)的面积大于进气整流罩流体入口(21)的面积、且所述进气整流罩(2)的内腔的大小自进气整流罩流体入口(21)至进气整流罩流体出口(22)均匀变化，所述反应腔(1)包括反应腔流体入口(11)和反应腔流体出口(12)，所述反应腔流体入口(11)与进气整流罩流体出口(22)相配合；

其中，(d₂-d₁)V≤1.26ФL_d；

d₁为进气整流罩流体入口(21)的流体直径；d₂为进气整流罩流体出口(22)的流体直径；V为反应装置气体流量；Ф为进气整流罩流体出口(22)的周长；L_d为进气整流罩(2)轴线的长度。

2.如权利要求1所述的一种空气动力学反应装置，其特征在于，d₁＝0.7～10厘米，d₂＝5～100厘米，V＝10～1000sccm，Ф＝15～157厘米，L_d＝10～200厘米。

3.如权利要求1所述的一种空气动力学反应装置，其特征在于，所述进气整流罩(2)以进气整流罩流体出口(22)处流体的流动方向延伸形成反应腔(1)，所述反应腔流体出口(12)位于反应腔(1)的末端。

4.如权利要求1所述的一种空气动力学反应装置，其特征在于，所述进气整流罩流体入口(21)所在平面平行于进气整流罩流体出口(22)所在平面。

5.如权利要求1所述的一种空气动力学反应装置，其特征在于，所述进气整流罩(2)的内腔为台体。

6.如权利要求1所述的一种空气动力学反应装置，其特征在于，所述空气动力学反应装置还包括出气整流罩(3)，所述出气整流罩(3)包括出气整流罩流体入口(31)和出气整流罩流体出口(32)，所述出气整流罩流体入口(31)与反应腔流体出口(12)相配合，所述出气整流罩流体入口(31)的面积大于出气整流罩流体出口(32)的面积、且所述出气整流罩(3)的内腔的大小自出气整流罩流体入口(31)至出气整流罩流体出口(32)均匀变化。

7.如权利要求6所述的一种空气动力学反应装置，其特征在于，(d₁’-d₂’)V’≤1.26Ф’L_d’；

d₁’为出气整流罩流体入口(31)的流体直径；d₂’为出气整流罩流体出口(32)的流体直径；V’为反应装置气体流量；Ф’为出气整流罩流体入口(31)的周长；L_d’为出气整流罩(3)轴线的长度。

8.如权利要求7所述的一种空气动力学反应装置，其特征在于，d₁’＝5～100厘米，d₂’＝0.7～10厘米，V’＝10～1000sccm，Ф’＝15～157厘米，L_d’＝10～200厘米。

9.如权利要求6所述的一种空气动力学反应装置，其特征在于，所述出气整流罩流体入口(31)所在平面平行于出气整流罩流体出口(32)所在平面。

10.如权利要求6所述的一种空气动力学反应装置，其特征在于，所述出气整流罩(3)的内腔为台体。

11.如权利要求1所述的一种空气动力学反应装置，其特征在于，所述反应腔(1)内设有待处理器件固定装置(4)。

12.如权利要求1所述的一种空气动力学反应装置，其特征在于，所述空气动力学反应装置为表面原子层沉积反应装置。