[实用新型]一种主动抑制测试光路抖动的装置有效
| 申请号： | 201721148344.2 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN207528422U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 贾建军;张子玄;吴金才;张亮;强佳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 李秀兰 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试光路 抖动 分光器 信标光 主动抑制 反镜 压电 控制计算机 测试光 入光端 相机 抖动补偿 抖动装置 有效抑制 质心算法 光斑 耦合 检测端 量控制 检测 采集 传输 发射 | ||
【权利要求书】：
1.一种主动抑制测试光路抖动的装置，包括控制计算机(1)、信标光源(2)、第一分光镜(3)、压电陶瓷快反镜(4)、抖动检测相机(5)和第二分光镜(6)，其特征在于：
所述压电陶瓷快反镜(4)、抖动检测相机(5)和第二分光镜(6)安装于测试光路入射处，测时光路测试光依次经过第二分光镜(6)和压电陶瓷快反镜(4)进入测试光路，再经过第一分光镜(3)到的测试光路出光端；信标光和测试光路光源采用分光镜耦合和分离；信标光源(2)、第一分光镜(3)安装于测试光路出光处；
所用信标光源(2)的出射光经过第一分光镜(3)耦合进测试光路，从测试光路的出光端沿测试光路的逆向传播到测试光路入光端，依次经过压电陶瓷快反镜(4)、第二分光镜(6)被抖动检测相机(5)捕获。
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