[实用新型]一种有效去除气泡的TMA缓冲装置

说明书

本实用新型提供一种有效去除气泡的TMA缓冲装置，包括：防爆柜体，所述防爆柜体内设有缓冲罐，所述缓冲罐外侧设有加热层，所述缓冲罐顶端设有推压入口、物料出口、物料入口，所述推压气体入口上设有推压手动隔膜阀MVP、物料出口手动隔膜阀MVO、物料入口手动隔膜阀MVI，所述推压气体手动隔膜阀上端通过管道连接于气动隔膜阀AV1，所述气动隔膜阀AV1上端通过管道连接于减压阀REG、压力计PG1，所述减压阀REG上端通过管道连接于手动隔膜阀MV5、过滤装置GF1，所述过滤装置GF1连接于自纯化Ar或纯化N2管道输入接口，本实用新型单独配置的缓冲罐，有独立的推送气源和压力控制装置，可以根据机台实际运行参数，来微调整推送压力，从而使得机台工艺运行达到最佳状态。

技术领域

本实用新型涉及PV光伏行业晶硅电池片背钝化工艺技术领域，具体为一种有效去除气泡的TMA缓冲装置。

背景技术

目前设计的双源瓶切换的TMA集中供应系统，在拆装、吹扫源瓶过程中，不可避免的会在pigtail源瓶连接管道内残留极少量气体，当源瓶液相出口阀打开后，残留气体会混在TMA液体中，经过管网，被缓慢输送到背钝化机台，流经流量计时，由于气体液体密度不同，就会测量出大的流量波动，而实际会影响工艺参数和电池片良率。

背钝化机台经过约120小时连续工艺生产后，需要做一次PM维护保养，维护保养时，需要把机台内的腔体和管线内TMA全部置换吹扫净，且维护保养结束时，机台内的工艺管线内部均处于高真空环境，当复机生产恢复TMA供应时，由于需要破真空，TMA瞬时流量极大，因为TMA采用集中供应系统，通过管网同时负责供应多台背钝化机台，故任一台背钝化机台在维护后开机瞬时的超大流量，都会引起其他正常工艺生产机台的TMA流量大的波动，这些都是电池片生产企业不愿意碰到的情况。故如何有效去除TMA液体中引入的气泡，以及消除各背钝化机台之间TMA流量相互影响，是本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种有效去除气泡的TMA缓冲装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种有效去除气泡的TMA缓冲装置，包括：防爆柜体，所述防爆柜体内设有缓冲罐，所述缓冲罐外侧设有加热层，所述缓冲罐顶端设有推压气体入口、物料出口、物料入口，所述推压气体入口上设有推压气体手动隔膜阀MVP、物料出口手动隔膜阀MVO、物料入口手动隔膜阀MVI，所述推压手动隔膜阀上端通过管道连接于气动隔膜阀AV1、气动隔膜阀AV2，所述气动隔膜阀AV1上端通过管道连接于减压阀REG、压力计PG1，所述减压阀REG上端通过管道连接于手动隔膜阀MV5、过滤装置GF1，所述过滤装置GF1连接于自纯化Ar或纯化N2管道输入接口，所述气动隔膜阀AV2上端通过管道连接于手动隔膜阀MV6，手动隔膜阀MV6上端通过管道连接于止回阀CV1，止回阀CV1上端通过管道连接于过滤装置GF2，过滤装置GF2连接于自纯化N2管道，所述物料出口手动隔膜阀MVO上端通过管道连接于压力传感器PT、手动隔膜阀MV1，压力传感器PT上端通过管道连接于气动隔膜阀AV3、手动隔膜阀MV2，手动隔膜阀MV2上端接至工艺机台，所述手动隔膜阀MV1通过管道连接于气动隔膜阀AV2与手动隔膜阀MV6之间的管道上，手动隔膜阀MV1上端的管道上通过管道连接于压力计PG2，压力计PG2通过管道连接于手动隔膜阀MV7、止回阀CV2，止回阀CV2上端的管道上设有手动放气阀MBV，手动放气阀MBV上端通过管道连接于真空泵，所述物料入口手动隔膜阀MVI上端通过管道连接于手动隔膜阀MV3、气动隔膜阀AV4，气动隔膜阀AV4上端通过管道连接于手动隔膜阀MV4，手动隔膜阀MV4上端接自TMA集中供应系统，手动隔膜阀MV3上端通过管道连接于压力计PG2与手动隔膜阀MV7之间的管道上，工艺补料支路与工艺出料支路之间设有手动隔膜阀MV8。

所述手动隔膜阀MV2上端的管道外侧设有加热层，手动隔膜阀MV4上端的管道外侧设有加热层，物料出口手动隔膜阀MVO上端的管道外侧设有加热层、物料入口手动隔膜阀MVI上端的管道外侧设有加热层。