[实用新型]一种利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体有效

专利信息
申请号: 201721149202.8 申请日: 2017-09-08
公开(公告)号: CN207637751U 公开(公告)日: 2018-07-20
发明(设计)人: 齐风;甄辉;王彦君;孙晨光;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;王晓捧;王宏宇;徐艳超 申请(专利权)人: 天津环鑫科技发展有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 300384 天津市西青区*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 药液槽 循环冷却系统 进液系统 循环泵浦 均匀性 腐蚀 槽体 刻蚀 冷却 硅片旋转装置 药液槽外部 硅片腐蚀 冷水机组 外部循环 旋转装置 硅片 极差 取出 保证 进口 申请 出口
【权利要求书】:

1.一种利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体,包括药液槽,其特征在于:所述药液槽内部设有旋转装置;所述药液槽底部设有药液槽进液系统(3);所述药液槽外部设有循环冷却系统(6),所述循环冷却系统(6)的进口与所述药液槽连接;所述循环冷却系统(6)的出口与循环泵浦(7)连接,所述循环泵浦(7)与所述药液槽进液系统(3)连接;所述循环冷却系统(6)与设置在所述药液槽旁边的冷水机组(4)冷却连接。

2.根据权利要求1所述利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体,其特征在于:所述旋转装置包括分别设置在所述药液槽底部两端的固定架,所述固定架的内侧均设有翻转支座(15);所述固定架上均设有传动机构,所述传动机构与对应的所述翻转支座(15)固定连接;所述药液槽两端的侧壁外部均设有滚动调速马达(11),所述滚动调速马达(11)与对应的所述传动机构传动连接;所述翻转支座(15)的两端分别设有锁紧机构。

3.根据权利要求2所述利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体,其特征在于:所述循环泵浦(7)与所述药液槽进液系统(3)之间设有循环过滤器(5)。

4.根据权利要求2所述利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体,其特征在于:所述循环冷却系统(6)包括一个冷却槽;所述冷却槽与所述药液槽相连;所述冷却槽内均匀设有冷水管路,所述冷水管路的进口和出口均与所述冷水机组(4)相连。

5.根据权利要求2或3所述利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体,其特征在于:所述药液槽进液系统(3)的顶部设有均匀的进液孔。

6.根据权利要求1所述利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体,其特征在于:所述药液槽的四周内壁上设有药液槽冷却系统(2),所述药液槽冷却系统(2)与所述冷水机组(4)相连。

7.根据权利要求6所述利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体,其特征在于:所述药液槽冷却系统(2)包括若干冷却盘,所述冷却盘由冷却盘管路构成,所述冷却盘管路的入口和出口均与所述冷水机组(4)相连。

8.根据权利要求2所述利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体,其特征在于:所述固定架包括垂直设置的第一固定架(19)和第二固定架(20);所述第一固定架(19)设于所述第二固定架(20)的外侧;所述药液槽侧壁上设有过孔,所述滚动调速马达(11)的转轴穿过所述过孔后与电机端齿轮(10)固定连接;所述第一固定架(19)上设有第一过孔;所述第一过孔的外侧设有第一传动齿轮(14),内侧设有第二传动齿轮(16);所述第一传动齿轮(14)和所述第二传动齿轮(16)通过所述第一过孔固定连接;所述第一传动齿轮(14)与所述电机端齿轮(10)通过传动皮带(12)连接;所述第二固定架(20)上设有第二过孔;所述第二过孔的外侧设有支座端齿轮(13),内侧设有连接板;所述连接板与所述支座端齿轮(13)通过所述第二过孔固定连接,所述连接板的底端与所述翻转支座(15)固定连接;所述支座端齿轮(13)与所述第二传动齿轮(16)相互啮合。

9.根据权利要求2所述利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体,其特征在于:所述锁紧机构包括滑动设置在所述翻转支座(15)上的滑动杆,所述滑动杆的下端设有滑块;所述滑块置于设置在所述翻转支座(15)上的滑条(17)内;所述滑块与所述滑条(17)之间为高摩擦力滑动;所述滑动杆的上端与锁紧拨钮(9)连接;所述槽体两端的滑动杆之间设有若干锁紧杆。

10.根据权利要求9所述利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体,其特征在于:所述高摩擦力滑动的具体结构为所述滑块与所述滑条(17)的内壁压紧设置。

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