[实用新型]一种替代光刻工艺的印刷设备

权利要求书

1.一种替代光刻工艺的印刷设备，其特征在于：依次包括片篮上载机(1)、第一翻转机构(2)、第一预定准单元(3)、第一旋转印刷台(4)、第一链式炉上载机(5)、第一链式炉(6)、第一链式炉下载机(7)、第二翻转机构(8)、第二预定准单元(9)、第二旋转印刷台(10)、第二链式炉上载机(11)、第二链式炉(12)、第二链式炉下载机(13)、片篮下载机(15)，且每两个相邻装置之间均通过传送皮带进行连接或对接。

2.根据权利要求1所述替代光刻工艺的印刷设备，其特征在于：所述第二链式炉下载机(13)与所述片篮下载机(15)之间设有第三翻转机构(14)。

3.根据权利要求1所述替代光刻工艺的印刷设备，其特征在于：所述第一翻转机构(2)和/或第二翻转机构(8)包括主控端、识别端和翻转端；所述识别端和所述翻转端均与所述主控端电连接。

4.根据权利要求3所述替代光刻工艺的印刷设备，其特征在于：所述识别端包括摄像头，所述主控端包括控制电路板；所述摄像头与所述控制电路板电连接。

5.根据权利要求1所述替代光刻工艺的印刷设备，其特征在于：所述第一预定准单元(3)和/或第二预定准单元(9)内部设有相机，所述相机位于硅片放置位上方，所述硅片放置位的四周设有若干MARK点；所述相机与对准控制端电连接，所述对准控制端与拨杆动力连接，所述拨杆设置在所述硅片放置位的四周。

6.根据权利要求1所述替代光刻工艺的印刷设备，其特征在于：第一旋转印刷台(4)和/或所述第二旋转印刷台(10)包括转台，所述转台上方设有印刷机；所述转台上设有四个工位，当所述转台转动时，所述四个工位依次转到所述印刷机的印刷头下；所述转台由DD马达驱动。

7.根据权利要求1所述替代光刻工艺的印刷设备，其特征在于：所述第一链式炉上载机(5)和/或所述第二链式炉上载机(11)的输入端为一条轨道，输出端轨道条数为大于等于2的整数。

8.根据权利要求1或7所述替代光刻工艺的印刷设备，其特征在于：所述第一链式炉下载机(7)和/或所述第二链式炉下载机(13)的输入端轨道条数为大于等于2的整数，输出端为1条轨道。

9.根据权利要求8所述替代光刻工艺的印刷设备，其特征在于：所述第一链式炉上载机和/或所述第二链式炉上载机的输出端轨道条数与所述第一链式炉下载机和/或所述第二链式炉下载机的输入端轨道条数相同。

10.根据权利要求9所述替代光刻工艺的印刷设备，其特征在于：所述第一链式炉上载机和/或所述第二链式炉上载机的输出端轨道条数与所述第一链式炉下载机和/或所述第二链式炉下载机的输入端轨道条数均为3。