[实用新型]卡点、石墨舟片及石墨舟有效

专利信息
申请号: 201721154436.1 申请日: 2017-09-11
公开(公告)号: CN207183244U 公开(公告)日: 2018-04-03
发明(设计)人: 李苗苗;周海斌 申请(专利权)人: 上海亿横精密机械有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/687
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 代理人: 李思霖
地址: 201600 上海市松江*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 石墨
【权利要求书】:

1.一种卡点,其特征在于,包括固定部(1)和卡紧部(2),所述卡紧部(2)与所述固定部(1)之间形成有卡槽(3),所述固定部(1)用于与石墨舟片可拆卸式固定连接,所述卡槽(3)用于卡入硅片(5);所述卡紧部(2)自其外沿向内设有缺口。

2.根据权利要求1所述的卡点,其特征在于,所述缺口位于所述卡紧部(2)端部靠近中间的位置,且所述卡紧部(2)上缺口的两侧均形成卡紧头。

3.根据权利要求2所述的卡点,其特征在于,所述缺口为“U”型缺口(4)。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的卡点,其特征在于,所述卡紧部(2)为圆形,所述卡紧部(2)上沿其圆周设有至少一个缺口;所述固定部(1)也为圆形。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的卡点,其特征在于,所述卡紧部(2)为菱形,所述缺口为两个,且分别设于所述卡紧部(2)上呈锐角的两个角上。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的卡点,其特征在于,所述卡紧部(2)包括长方形部和弧形部,所述弧形部为两个,且分别设于所述长方形部的两个短边上,所述缺口为两个,且分别设于所述弧形部上。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的卡点,其特征在于,所述卡紧部(2)为三角形,所述缺口为三个,且分别设于所述卡紧部(2)的三个角上。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的卡点,其特征在于,所述卡紧部(2)为两个,且两个所述卡紧部(2)分别对称设于所述固定部(1)的两侧。

9.一种石墨舟片,其特征在于,包括舟片本体和权利要求1-8中任一项所述的卡点,所述舟片本体上沿其长度方向设有多个硅片位,所述舟片本体上靠近所述硅片位的位置分散设有多个安装孔,所述安装孔与所述卡点的固定部(1)相匹配。

10.一种石墨舟,其特征在于,包括权利要求9所述的石墨舟片,所述石墨舟片为多个,且沿其厚度方向依次并列排布,多个所述石墨舟片的两端均设有相对应的连接孔,位于同一侧的多个所述连接孔中穿设有石墨杆。

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