[实用新型]一种用于曝光机的新型光源

说明书

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域，具体涉及一种用于曝光机的新型光源。

背景技术

曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。曝光机广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域。当前曝光设备多采用高压汞灯作为曝光光源，汞灯维护成本高，使用寿命短；此外，汞灯曝光机产生的光谱较复杂，包含的谱线较多，并且还有大量的红外辐射，效率非常低。紫外LED(UVLED)具有效率高、寿命长和谱线窄等优点，是替换汞灯的理想光源。但是现有的汞灯光源或UVLED光源均存在散热效率低的问题，因此会增大光强衰减，降低光源的使用寿命。

发明专利申请紫外LED曝光头(申请号为201310688320.6)，包括依次设置的紫外LED光源模组、蝇眼透镜匀化系统、准直场镜系统和目标面，紫外LED光源模组发出的紫外光经过蝇眼透镜匀化系统的积分匀化后，经过准直场镜系统的准直处理后平行于光轴射出并在目标面上形成均匀光强的分布，所述紫外LED光源模组还包括散热鳍片和风扇。该发明专利申请采用多个紫外LED构成的紫外LED光源模组作为光源，并采用蝇眼透镜匀化系统和准直场镜系统解决了紫外LED光源模组发散角大的问题，采用散热鳍片和风扇进行散热，散热效率低。

因此急需提供一种散热效率高，防水性能好，使用寿命长的用于曝光机的新型光源。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有曝光机光源的不足，提供一种散热效率高，防水性能好，使用寿命长的用于曝光机的新型光源。

本实用新型提供了如下技术方案：

一种用于曝光机的新型光源，包括基座和环绕设于所述基座外侧的灯筒，所述基座的一侧安装有若干UVLED灯珠，所述UVLED灯珠外依次设有非球面透镜、蝇眼透镜和平行透镜，所述UVLED灯珠发出的光束依次经过所述非球面透镜、所述蝇眼透镜和所述平行透镜；所述基座的另一侧设有散热仓，所述散热仓开有进管和出管，所述进管和所述出管间设有冷却盘管。

优选的，所述冷却盘管呈重复的S型盘踞于所述散热仓中，可兼顾各个区域的UVLED灯珠，有效的将UVLED灯珠产生的热量带走，达到降温的目的。

优选的，所述散热仓的外侧设有散热片，可进行辅助散热。

优选的，所述散热片的横截面形状为梯形，且靠近所述散热仓的一侧为梯形长边，梯形横截面的散热片能提供更大的散热面积，从而提高散热效率。

优选的，所述灯筒的外表面涂覆有疏水涂层，增强其防水性能；内表面涂覆有反光层，可有效聚拢光束。

本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型设有散热仓，通过进管输入散热介质，散热介质经过冷却盘管吸收UVLED灯珠产生的热量，然后从出管流出，从而实现对UVLED灯珠的有效散热，降低光强的衰减，提高UVLED灯珠的使用寿命。

(2)本实用新型设有横截面为梯形的散热片，与传统的矩形横截面散热片相比，散热面积更大，因此散热效率高。

(3)本实用新型中UVLED灯珠发射出的光束经非球透镜进行光的第一次准直；然后经蝇眼透镜，实现了光的二次聚焦并将若干分散的光斑聚合成一个光斑，从而提高了光强的均匀性；最后通过平行透镜使光束变成一平行光，达到使用要求。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解和说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的右视结构示意图。

图中标记为：1、基座；2、灯筒；21、疏水涂层；22、反光层；3、UVLED灯珠；4、非球面透镜；5、蝇眼透镜；6、平行透镜；7、散热仓；8、散热片；9、进管；10、出管；11、冷却盘管。

具体实施方式

如图1和图2所示，一种用于曝光机的新型光源，包括基座1和环绕设于基座1外侧的灯筒2，基座1的一侧安装有若干UVLED灯珠3，UVLED灯珠3外依次设有非球面透镜4、蝇眼透镜5和平行透镜6，UVLED灯珠3发出的光束依次经过非球面透镜4、蝇眼透镜5和平行透镜6。

基座1的另一侧设有散热仓7，散热仓7开有进管9和出管10，进管9和出管10间设有冷却盘管11。冷却盘管11呈重复的S型盘踞于散热仓7中，可兼顾各个区域的UVLED灯珠3，有效的将UVLED灯珠3产生的热量带走达到降温的目的。

散热仓7的外侧设有散热片8，可进行辅助散热。散热片8的横截面形状为梯形，且靠近散热仓7的一侧为梯形长边，梯形横截面的散热片8能提供更大的散热面积，从而提高散热效率。