[实用新型]生产PBN产品的VGF坩埚用变径型套筒

说明书

本实用新型涉及生产PBN产品的VGF坩埚用变径型套筒，包括依次连接的筒身、筒颈和筒头，所述筒颈为空腔圆台体，所述筒身和筒头均为空腔圆柱体，所述筒头的内径与筒颈的上底面内径相同，所述筒身的内径与筒颈的下底面内径相同，筒颈的上底面内径小于筒颈的下底面内径。该变径型套筒在应用到VGF坩埚的生产炉内时，能够更为高效地进行氮化硼沉积，并可使氮化硼能够均匀地沉积在VGF坩埚表面。相比传统的制造工艺，采用变径型套筒此种腔室构造生产出的VGF坩埚，坩埚整体的沉积速率较之前在同种条件下提升10％，从而提高反应气体的利用率，同时VGF坩埚的使用寿命提高30％，具有显著的加工效果和良好的经济价值。

技术领域

本实用新型涉及生产PBN产品的VGF坩埚用变径型套筒，属于热解氮化硼技术领域。

背景技术

目前，生产氮化硼(PBN)产品的反应室多用上下直径相同的石墨套筒(如图1)，但是PBN产品中的VGF坩埚(如图2)上口直径较大，尾巴直径非常小，将套筒做成上下同样直径大小势必会造成反应室空间较大的浪费，当反应室的进气量一定时，空间的扩大会减小反应气体的浓度让反应沉积速率变慢，特别是会让VGF坩埚肩部和尾巴的厚度变薄，而这会大大降低坩埚的使用寿命。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种生产VGF产品时根据产品直径大小的不一样而设计的直径不同的套筒。

本实用新型的技术方案如下：

生产PBN产品的VGF坩埚用变径型套筒，包括依次连接的筒身、筒颈和筒头，所述筒颈为空腔圆台体，所述筒身和筒头均为空腔圆柱体，所述筒头的内径与筒颈的上底面内径相同，所述筒身的内径与筒颈的下底面内径相同，筒颈的上底面内径小于筒颈的下底面内径。

优选的，所述筒身、筒颈和筒头为一体成型结构。

优选的，所述筒颈与筒身、筒头的连接处为弧形。

优选的，所述变径型套筒的内径大于VGF坩埚产品外径20-200mm。

优选的，所述变径型套筒为石墨套筒。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型变径型套筒，在应用到VGF坩埚的生产炉内时，能够更为高效地进行氮化硼沉积，并可使氮化硼能够均匀地沉积在VGF坩埚表面。相比传统的制造工艺，采用变径型套筒此种腔室构造生产出的VGF坩埚，坩埚整体的沉积速率较之前在同种条件下提升10％，从而提高反应气体的利用率，同时VGF坩埚的使用寿命提高30％。该变径型套筒结构设计合理、使用方便、操作简单，具有显著的加工效果和良好的经济价值。

附图说明

图1为现有上下直径相同的石墨套筒结构示意图；

图2为VGF坩埚产品的结构示意图；

图3为本实用新型变径型套筒的结构示意图；

图4a为现有VGF坩埚生产腔室构造；

图4b为改进之后生产腔室构造的对比示意图；

其中：1、坩埚身；2、肩部；3、尾巴；4、上吊盘；5、出气口；6、炉壳；7、套筒；8、保温加热系统；9、进气口；10、筒身；11、筒颈；12、筒头。

具体实施方式

下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明，但不限于此。

实施例1：