[实用新型]一种晶圆检测设备的扩晶环转送装置

权利要求书

1.一种晶圆检测设备的扩晶环转送装置，设于用于承载扩晶环的料盒(2)和对扩晶环上的晶圆进行检测的载片台组件(1)之间，其特征在于，包括：

用于将所述料盒(2)内承载有待检测晶圆的扩晶环夹送至中转工位(3)上、并将所述中转工位(3)上晶圆检测完成的扩晶环返送至所述料盒(2)内的第一机械手组件(4)；以及，

用于将所述中转工位(3)上承载有待检测晶圆的扩晶环输送至所述载片台组件(1)上进行检测、并将所述载片台组件(1)上晶圆检测完成的扩晶环返送至所述中转工位(3)上的第二机械手组件(5)，且所述第二机械手组件(5)与所述第一机械手组件(4)错位布置。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备的扩晶环转送装置，其特征在于，所述第一机械手组件(4)包括：

第一底座(41)；

承载于所述第一底座(41)上的第一导轨(42)；

承载于所述第一底座(41)上的第一电机(43)；

由所述第一电机(43)驱动在两个第一导向轮(44)之间做循环往复运动的第一同步带(45)；

与所述第一同步带(45)固定连接且随所述第一同步带(45)的运动在所述第一导轨(42)上做循环往复运动的第一机械手臂(46)；以及，

与所述第一机械手臂(46)固定连接、可伸入所述料盒(2)的腔体内并将所述料盒(2)内的扩晶环带出或置入所述料盒(2)的载物部(47)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测设备的扩晶环转送装置，其特征在于，所述载物部(47)上设有可伸入扩晶环的内圈对扩晶环进行定位的定位环(48)。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆检测设备的扩晶环转送装置，其特征在于，所述第一底座(41)对应于所述第一导轨(42)两端的位置上设有第一行程开关(6)，所述第一机械手臂(46)上设有随所述第一机械手臂(46)的运动沿所述第一导轨(42)方向运动的、且当其挡在所述第一行程开关(6)的两片开关片之间时、可使所述第一行程开关(6)向控制器发送感应信号以指示控制器控制所述第一电机(43)停止运行的第一挡片(7)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备的扩晶环转送装置，其特征在于，所述第二机械手组件(5)包括：

第二底座(51)；

承载于所述第二底座(51)上的第二导轨(52)；

由一驱动组件(53)驱动在所述第二导轨(52)上滑移的滑移组件(54)；

固定装配于所述滑移组件(54)上随所述滑移组件(54)沿所述第二导轨(52)方向运动的升降气缸(55)；

由所述升降气缸(55)驱动相对所述滑移组件(54)竖向滑移的、用于吸附或者释放扩晶环的第二机械手臂(56)，以及，

设于所述第二机械手臂(56)上、与真空气源连通的、用于吸附扩晶环的若干个吸盘(57)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆检测设备的扩晶环转送装置，其特征在于，所述驱动组件(53)包括：

第二电机；

由所述第二电机驱动在两个第二导向轮(531)之间做循环往复运动的第二同步带(532)；以及，

与所述第二同步带(532)固定连接、并随所述第二同步带(532)的运动带动所述滑移组件(54)在所述第二导轨(52)上滑移的同步带固定块(533)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆检测设备的扩晶环转送装置，其特征在于，所述第二导轨(52)两端的位置上设有第二行程开关(8)，所述同步带固定块(533)上设有随所述同步带固定块(533)的运动沿所述第二导轨(52)方向运动的、且当其挡在所述第二行程开关(8)的两片开关片之间时、可使所述第二行程开关(8)向控制器发送感应信号以指示控制器控制所述第二电机停止运行的第二挡片(9)。

8.根据权利要求5所述的一种晶圆检测设备的扩晶环转送装置，其特征在于，所述滑移组件(54)上设有第三行程开关(10)，所述第二机械手臂(56)上固定有随所述第二机械手臂(56)的运动沿所述升降气缸(55)伸缩杆轴向方向运动的、且当其挡在所述第三行程开关(10)的两片开关片之间时、可使所述第三行程开关(10)向控制器发送感应信号以指示控制器控制所述升降气缸(55)停止运行的第三挡片(11)。