[实用新型]一种单晶炉中石墨坩埚与托盘防粘结结构有效
申请号: | 201721172271.0 | 申请日: | 2017-09-13 |
公开(公告)号: | CN207347691U | 公开(公告)日: | 2018-05-11 |
发明(设计)人: | 秦露露;令狐铁兵;刘要普 | 申请(专利权)人: | 麦斯克电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 狄干强 |
地址: | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉中 石墨 坩埚 托盘 粘结 结构 | ||
1.一种单晶炉中石墨坩埚与托盘防粘结结构,所述石墨坩埚(2)设置在单晶炉炉腔内的托盘(1)上,其特征在于:在石墨坩埚(2)的侧壁与底部连接处设置有一环形平台(201),该环形平台(201)将石墨坩埚(2)的底部隔离成一环状凸台(202),且该环状凸台(202)放置在托盘(1)上时,托盘(1)的侧壁(101)顶部处于环形平台(201)上;在环形平台(201)与石墨坩埚(2)的侧壁之间设置有环形挡块(3),且环形挡块(3)的内壁(303)与托盘(1)的侧壁(101)间具有间隙,环形挡块(3)的外壁(301)与石墨坩埚(2)的侧壁形成平滑过渡。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉中石墨坩埚与托盘防粘结结构,其特征在于:所述环形挡块(3)的外壁(301)和内壁(303)的顶部均向中间倾斜,并由一下凸的弧形面(302)连接,且弧形面(302)与外壁(301)顶部和内壁(303)顶部的连接处为平滑过渡。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉中石墨坩埚与托盘防粘结结构,其特征在于:所述外壁(301)的倾斜角度大于内壁(303)的倾斜角度,该倾斜角度是指,内壁(303)或外壁(301)与水平面形成的锐角夹角。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉中石墨坩埚与托盘防粘结结构,其特征在于:所述环形挡块(3)的内壁(303)与环形平台(201)连接处形成弧形上凹连接面(304)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉中石墨坩埚与托盘防粘结结构,其特征在于:所述环形挡块(3)的材质与石墨坩埚(2)的材质相同,且两者一体成形。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉中石墨坩埚与托盘防粘结结构,其特征在于:所述环形挡块(3)的高度为3-5mm,上部最厚处的厚度为5-8mm。
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