[实用新型]一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种密封结构，尤其涉及一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构。

背景技术

在化合物半导体的研究和生产中，往往需要使用高气压电炉，其中电源和温度控制、测量的导线都必须由炉外引入。穿越高气压电炉盖的导线既要相互绝缘，又必须承受高达40kg/cm²的气压不漏气。目前，在压差不大、要求不严的场合，使用漆包线作为导线，用树脂密封可以达到要求，但是在高达4MPa以上的高气压电炉上，不能有丝毫漏气的情况下，现有技术还不能实现多根漆包线穿越高气压电炉盖。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构。实现本发明目的的技术方案是：

一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构，高气压电炉盖设有通孔，通孔中安装有同轴不锈钢套筒，套筒外壁与通孔内壁紧密配合，多根漆包线从套筒中穿过，套筒内腔及多根漆包线之间使用树脂密封胶密封。

漆包线被树脂密封胶包覆的部分为已经去掉漆膜的裸线。

套筒外壁与通孔内壁之间设有若干道O型密封圈，套筒轴向一侧设有挡圈，挡圈直径大于套筒直径，挡圈压盖在高气压电炉盖外侧。

树脂密封胶为环氧树脂密封胶，均对紫铜和不锈钢同时结合非常紧密，可选以下型号中的任意一种：JL-6605、JL-498，JL-812、JL-330、JL-114、JL-109AB、JL-6118、JL-6103、JL-767C、JL-767B、JL-767A、JL-528。

本专利与现有技术相比具有的有益效果是：漆包线被树脂密封胶包覆部分为已经去掉漆膜的裸线，避免了在高温高压条件下，漆膜与裸线之间出现微小缝隙 导致的漏气，同时，这种树脂密封胶必须对紫铜和不锈钢结合非常紧密，从而解决了多根漆包线穿越高气压电炉盖相互绝缘、杜绝漏气的技术难题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型再作进一步详细的说明。

一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构，高气压电炉盖7设有通孔6，通孔6中安装有同轴不锈钢套筒5，套筒5外壁与通孔6内壁紧密配合，多根漆包线1从套筒5中穿过，套筒5内腔及多根漆包线1之间使用树脂密封胶8密封。漆包线1被树脂密封胶8包覆的部分为已经去掉漆膜2的裸线3。套筒5外壁与通孔6内壁之间设有若干道O型密封圈4，套筒5轴向一侧设有挡圈9，挡圈9直径大于套筒5直径，挡圈9压盖在高气压电炉盖7外侧。

树脂密封胶为环氧树脂密封胶，均对紫铜和不锈钢同时结合非常紧密，可选以下型号中的任意一种：JL-6605、JL-498，JL-812、JL-330、JL-114、JL-109AB、JL-6118、JL-6103、JL-767C、JL-767B、JL-767A、JL-528。

除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式，凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围之内。