[实用新型]一种原料供应装置及阵列基板线路不良维修装置有效
申请号: | 201721176469.6 | 申请日: | 2017-09-14 |
公开(公告)号: | CN207338343U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 李宜轩 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/84 | 分类号: | H01L21/84 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215301 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 原料 供应 装置 阵列 线路 不良 维修 | ||
1.一种原料供应装置,包括原料存储罐,用于存储维修原料,其特征在于,还包括,可升降平台以及标尺;
所述可升降平台位于所述原料存储罐内,且与所述原料存储罐的底面平行;
所述原料存储罐顶部设置有通孔;
所述标尺的第一端与所述可升降平台固定连接,所述标尺与所述第一端相对的第二端从位于所述原料存储罐顶部的通孔穿出,并露置于所述原料存储罐外部。
2.根据权利要求1所述的原料供应装置,其特征在于,
所述原料存储罐内壁设置有滑道;
所述可升降平台边缘设置有滑动部件;
所述滑道的形状和尺寸与所述滑动部件的形状和尺寸相匹配。
3.根据权利要求1所述的原料供应装置,其特征在于,还包括升降控制部件;
所述升降控制部件与所述可升降平台相连。
4.根据权利要求3所述的原料供应装置,其特征在于,所述升降控制部件包括电磁铁,所述电磁铁固定于所述原料存储罐的顶部;
所述可升降平台为永磁体。
5.根据权利要求4所述的原料供应装置,其特征在于,所述电磁铁包括铁芯,以及导电绕组;所述原料供应装置还包括电流控制器;
所述铁芯固定于所述原料存储罐的顶部,所述导电绕组缠绕于所述铁芯上,所述导电绕组与所述电流控制器电连接。
6.根据权利要求1所述的原料供应装置,其特征在于,还包括观察窗;
所述观察窗的形状为柱形;
所述观察窗套置于所述标尺露置于所述原料存储罐外部的部分上,且与所述原料存储罐通孔的边缘无缝连接。
7.根据权利要求6所述的原料供应装置,其特征在于,还包括激光发射器和激光接收器;
所述激光发射器和所述激光接收器固定于所述原料存储罐顶部的外壁上,且所述激光发射器、所述激光接收器以及所述标尺位于同一直线上;
所述标尺包括沿所述标尺延伸方向排列的透光区和非透光区。
8.根据权利要求7所述的原料供应装置,其特征在于,还包括报警模块,所述激光接收器与所述报警模块电连接。
9.根据权利要求1所述的原料供应装置,其特征在于,还包括至少一个第一类导气管和至少一个第二类导气管;
所述第一类导气管的一端与所述原料存储罐连接,另一端与反应腔室连接;
所述第二类导气管的一端与所述原料存储罐连接,另一端与气体存储罐连接。
10.一种阵列基板线路不良维修装置,其特征在于,包括权利要求1-9任一项所述的原料供应装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造