[实用新型]一种原料供应装置及阵列基板线路不良维修装置有效

专利信息
申请号: 201721176469.6 申请日: 2017-09-14
公开(公告)号: CN207338343U 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 李宜轩 申请(专利权)人: 昆山龙腾光电有限公司
主分类号: H01L21/84 分类号: H01L21/84
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 215301 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 原料 供应 装置 阵列 线路 不良 维修
【权利要求书】:

1.一种原料供应装置,包括原料存储罐,用于存储维修原料,其特征在于,还包括,可升降平台以及标尺;

所述可升降平台位于所述原料存储罐内,且与所述原料存储罐的底面平行;

所述原料存储罐顶部设置有通孔;

所述标尺的第一端与所述可升降平台固定连接,所述标尺与所述第一端相对的第二端从位于所述原料存储罐顶部的通孔穿出,并露置于所述原料存储罐外部。

2.根据权利要求1所述的原料供应装置,其特征在于,

所述原料存储罐内壁设置有滑道;

所述可升降平台边缘设置有滑动部件;

所述滑道的形状和尺寸与所述滑动部件的形状和尺寸相匹配。

3.根据权利要求1所述的原料供应装置,其特征在于,还包括升降控制部件;

所述升降控制部件与所述可升降平台相连。

4.根据权利要求3所述的原料供应装置,其特征在于,所述升降控制部件包括电磁铁,所述电磁铁固定于所述原料存储罐的顶部;

所述可升降平台为永磁体。

5.根据权利要求4所述的原料供应装置,其特征在于,所述电磁铁包括铁芯,以及导电绕组;所述原料供应装置还包括电流控制器;

所述铁芯固定于所述原料存储罐的顶部,所述导电绕组缠绕于所述铁芯上,所述导电绕组与所述电流控制器电连接。

6.根据权利要求1所述的原料供应装置,其特征在于,还包括观察窗;

所述观察窗的形状为柱形;

所述观察窗套置于所述标尺露置于所述原料存储罐外部的部分上,且与所述原料存储罐通孔的边缘无缝连接。

7.根据权利要求6所述的原料供应装置,其特征在于,还包括激光发射器和激光接收器;

所述激光发射器和所述激光接收器固定于所述原料存储罐顶部的外壁上,且所述激光发射器、所述激光接收器以及所述标尺位于同一直线上;

所述标尺包括沿所述标尺延伸方向排列的透光区和非透光区。

8.根据权利要求7所述的原料供应装置,其特征在于,还包括报警模块,所述激光接收器与所述报警模块电连接。

9.根据权利要求1所述的原料供应装置,其特征在于,还包括至少一个第一类导气管和至少一个第二类导气管;

所述第一类导气管的一端与所述原料存储罐连接,另一端与反应腔室连接;

所述第二类导气管的一端与所述原料存储罐连接,另一端与气体存储罐连接。

10.一种阵列基板线路不良维修装置,其特征在于,包括权利要求1-9任一项所述的原料供应装置。

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