[实用新型]一种管式炉系统有效

专利信息
申请号: 201721177632.0 申请日: 2017-09-14
公开(公告)号: CN207231222U 公开(公告)日: 2018-04-13
发明(设计)人: 刘卓;贺琦琦;穆德魁;廖信江;陈金昶;冯魁元 申请(专利权)人: 华侨大学
主分类号: F27B17/02 分类号: F27B17/02
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司35204 代理人: 张松亭
地址: 352000 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 管式炉 系统
【权利要求书】:

1.一种管式炉系统,包括依次连接的工作管、变径管和四通管,所述工作管一端密封,另一端通过所述变径管和所述四通管相连接,所述工作管、变径管和四通管形成的通路包括两条支路,其特征在于:所述一条支路为稀有气体通路,所述稀有气体通路包括依次连接的第一挡板控制阀、第一波纹管和稀有保护气体罐;所述另一条支路为真空通路,所述真空通路包括依次连接的第二挡板控制阀、第二波纹管、控制系统、双极选片真空泵和分子泵。

2.根据权利要求1所述的一种管式炉系统,其特征在于:还包括放气阀和气压计,所述气压计通过所述放气阀连接于所述四通管。

3.根据权利要求2所述的一种管式炉系统,其特征在于:所述工作管、四通管、放气阀、第一波纹管、第二波纹管、第一挡板控制阀和第二挡板控制阀的接头均为KF25的真空法兰接头,所述接头接口内径为20-40毫米,所述接头采用卡箍紧箍。

4.根据权利要求1所述的一种管式炉系统,其特征在于:所述变径管的接头为KF16-KF25或KF25-KF40的真空法兰接头,所述接头接口内径为16-25毫米或25-40毫米,所述接头采用卡箍紧箍。

5.根据权利要求1所述的一种管式炉系统,其特征在于:所述工作管为石英玻璃管。

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