[实用新型]一种管式炉系统有效
申请号: | 201721177632.0 | 申请日: | 2017-09-14 |
公开(公告)号: | CN207231222U | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 刘卓;贺琦琦;穆德魁;廖信江;陈金昶;冯魁元 | 申请(专利权)人: | 华侨大学 |
主分类号: | F27B17/02 | 分类号: | F27B17/02 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司35204 | 代理人: | 张松亭 |
地址: | 352000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 管式炉 系统 | ||
1.一种管式炉系统,包括依次连接的工作管、变径管和四通管,所述工作管一端密封,另一端通过所述变径管和所述四通管相连接,所述工作管、变径管和四通管形成的通路包括两条支路,其特征在于:所述一条支路为稀有气体通路,所述稀有气体通路包括依次连接的第一挡板控制阀、第一波纹管和稀有保护气体罐;所述另一条支路为真空通路,所述真空通路包括依次连接的第二挡板控制阀、第二波纹管、控制系统、双极选片真空泵和分子泵。
2.根据权利要求1所述的一种管式炉系统,其特征在于:还包括放气阀和气压计,所述气压计通过所述放气阀连接于所述四通管。
3.根据权利要求2所述的一种管式炉系统,其特征在于:所述工作管、四通管、放气阀、第一波纹管、第二波纹管、第一挡板控制阀和第二挡板控制阀的接头均为KF25的真空法兰接头,所述接头接口内径为20-40毫米,所述接头采用卡箍紧箍。
4.根据权利要求1所述的一种管式炉系统,其特征在于:所述变径管的接头为KF16-KF25或KF25-KF40的真空法兰接头,所述接头接口内径为16-25毫米或25-40毫米,所述接头采用卡箍紧箍。
5.根据权利要求1所述的一种管式炉系统,其特征在于:所述工作管为石英玻璃管。
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