[实用新型]一种用于石英坩埚喷涂的喷罐有效
申请号: | 201721182269.1 | 申请日: | 2017-09-15 |
公开(公告)号: | CN207385763U | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 张嵘;刘久明;吴诚 | 申请(专利权)人: | 河北高富氮化硅材料有限公司 |
主分类号: | B05B11/00 | 分类号: | B05B11/00;B05B15/40 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 054300 河北省邢*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 石英 坩埚 喷涂 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于石英坩埚喷涂的喷罐,其特征在于所述喷罐包括罐体、罐盖和与罐盖连接的喷涂装置,所述罐体内部设置有滤网,所述喷涂装置包括电动气压阀、输液管、连接杆及雾化喷头,所述输液管固定在罐盖上。
2.根据权利要求1所述的喷罐,其特征在于所述滤网设置在罐体内部靠近罐盖的位置。
3.根据权利要求1所述的喷罐,其特征在于所述输液管底部设置有滤网。
4.根据权利要求1所述的喷罐,其特征在于所述输液管伸到距罐体底部1cm的位置。
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