[实用新型]单介质板等离子体发生器

权利要求书

1.单介质板等离子体发生器，其特征是：包括T型低介电常数介质板（1）、中介电常数介质管（2）和导电体（3），中介电常数介质管（2）的内部设有导电体（3），T型低介电常数介质板（1）由底部的基底部（11）和与所述基底部（11）相垂直设置的凸起部（12）构成，两个所述中介电常数介质管（2）对称设置在所述凸起部（12）的两侧，中介电常数介质管（2）的内侧端贴靠在所述基底部（11）上，中介电常数介质管（2）的外侧端与所述凸起部（12）的外侧端保持齐平或凸出于所述凸起部（12）的外侧端，中介电常数介质管（2）上穿设有与导电体（3）连接的引出端（4），引出端（4）之间施加高频电压，所述两个中介电常数介质管（2）的外侧端靠近所述凸起部（12）的外侧端的放电介质面之间形成电场放电。

2.根据权利要求1所述的单介质板等离子体发生器，其特征是：所述放电介质面上设置有高介电常数介质板（5）。

3.根据权利要求2所述的单介质板等离子体发生器，其特征是：高介电常数介质板（5）的介电常数为60至200。

4.根据权利要求1所述的单介质板等离子体发生器，其特征是：导电体（3）为金属板或金属棒。

5.根据权利要求4所述的单介质板等离子体发生器，其特征是：导电体（3）为不锈钢、钨合金、铝合金或铜合金材质结构。

6.根据权利要求1所述的单介质板等离子体发生器，其特征是：高频电压为高频交流电压或者高频脉冲电压。

7.根据权利要求1所述的单介质板等离子体发生器，其特征是：T型低介电常数介质板（1）的介电常数小于10。

8.根据权利要求1所述的单介质板等离子体发生器，其特征是：中介电常数介质管（2）的介电常数为10至30。