[实用新型]气体输送装置

权利要求书

1.一种气体输送装置，其特征在于，包含:

一第一导流单元组及一第二导流单元组，分别由多个导流单元所构成，该多个导流单元各自具有一入口孔及一出口孔，该多个导流单元经致动可将气体由各自的该入口孔导入而由该出口孔排出；以及

一集气腔室，设置于该第一导流单元组及该第二导流单元组之间，并具有一排气口；

其中，该第一导流单元组及该第二导流单元组分别将气体由该多个入口孔吸入，且由该多个出口孔输送至该集气腔室，再由该集气腔室的该排气口排出，以实现适当气体传输量的调整。

2.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该第一导流单元组及该第二导流单元组分别由该多个导流单元以一行串接排列设置。

3.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该第一导流单元组及该第二导流单元组分别由该多个导流单元以一列串接排列设置。

4.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该第一导流单元组及该第二导流单元组分别由该多个导流单元以环状方式排列设置。

5.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该第一导流单元组及该第二导流单元组分别由该多个导流单元以蜂巢状方式排列设置。

6.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，每一该导流单元分别包含：

一入口板，具有该入口孔；

一基材；

一共振板，具有一中空孔洞，且该共振板与该入口板之间具有一汇流腔室；

一致动板，具有一个悬浮部及一外框部及至少一空隙；

一压电元件，贴附于该致动板的该悬浮部的一表面；以及

一出口板，具有该出口孔；以及

至少一阀，设置在该入口孔和该出口孔的至少一个中；

其中，该入口板、该基材、该共振板、该致动板及该出口板依序对应堆叠设置，该共振板及该致动板之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动板及该出口板之间形成一第二腔室，该压电元件驱动该致动板产生弯曲共振，以使该第一腔室及该第二腔室形成一压力差，并使该阀开启，让气体由该入口板的该入口孔进入该汇流腔室而流经该共振板的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借此以传输气体的流动。

7.如权利要求6所述的气体输送装置，其特征在于，该阀包含一保持件、一密封件及一阀片，其中该保持件及该密封件之间保持一容置空间，该阀片设置于该容置空间中，该保持件上具有至少两个通气孔，而该阀片对应该保持件的该通气孔位置设通气孔，该保持件的该通气孔及该阀片的该通气孔位置为大致相互对准，以及该密封件上设有至少一个通气孔，且与该保持件的该通气孔位置为形成错位不对准。

8.如权利要求6所述的气体输送装置，其特征在于，该阀包含由石墨烯材制成的一保持件、一密封件及一阀片，其中该保持件及该密封件之间保持一容置空间，该阀片设置于该容置空间中，该保持件上具有至少两个通气孔，而该阀片对应该保持件的该通气孔位置设通气孔，该保持件的该通气孔及该阀片的该通气孔位置为大致相互对准，以及该密封件上设有至少一个通气孔，且与该保持件的该通气孔位置为形成错位不对准。

9.如权利要求7或8所述的气体输送装置，其特征在于，该阀片为一带电荷的材料，而该保持件为一两极性的导电材料，由一控制电路控制其极性，当该阀片与该保持件维持不同极性时，该阀片朝该保持件靠近，以构成该阀的开启；当该阀片与该保持件维持相同极性时，该阀片朝该密封件靠近，以构成该阀的关闭。

10.如权利要求7或8所述的气体输送装置，其特征在于，该阀片为一带磁性的材料，而该保持件为一可受控变换极性的磁性材料，由一控制电路控制其极性，当该阀片与该保持件维持不同极性时，该阀片朝该保持件靠近，以构成该阀的开启；当该阀片与该保持件维持相同极性时，该阀片朝该密封件靠近，以构成该阀的关闭。