[实用新型]一种晶砣冷却装置

权利要求书

1.一种晶砣冷却装置，其特征在于：包括托盘、至少一块导热板、降温池和水泵，所述托盘上分别设置有盘进水口和盘出水口，所述盘进水口通过所述水泵连通所述降温池，所述盘出水口连通所述降温池；所述导热板的底部设置有支脚，所述导热板通过所述支脚设置在所述托盘内。

2.根据权利要求1所述的晶砣冷却装置，其特征在于：所述导热板上对应晶砣设置有向所述托盘方向凸出的凹槽，所述导热板的周围设置有挡水板，正常状态下所述导热板的底部处于所述托盘内水面以下。

3.根据权利要求1所述的晶砣冷却装置，其特征在于：所述托盘一侧设置有风扇，所述风扇朝向所述导热板设置。

4.根据权利要求1所述的晶砣冷却装置，其特征在于：还包括铰接在所述导热板一侧的导热盖，所述导热盖上分别设置有盖进水口和盖出水口，所述盖进水口通过所述水泵连通所述降温池，所述盖出水口连通所述降温池；所述导热盖上还设置有多个散热通孔。

5.根据权利要求2所述的晶砣冷却装置，其特征在于：还包括MCU控制器、设置在所述凹槽内的温度传感器和设置在所述托盘内的液位传感器，所述MCU控制器根据所述温度传感器检测的温度信息和所述液位传感器检测的液位信息控制所述水泵。