[实用新型]硅片承载孔个数可调式石墨框有效

专利信息
申请号: 201721186397.3 申请日: 2017-09-15
公开(公告)号: CN207217490U 公开(公告)日: 2018-04-10
发明(设计)人: 齐轶;曹钺 申请(专利权)人: 上海晶驰炭素有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙)31230 代理人: 陈伟勇
地址: 201505 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 硅片 承载 个数 调式 石墨
【权利要求书】:

1.硅片承载孔个数可调式石墨框,包括一石墨框,其特征在于,所述石墨框包括母框与子框;

所述母框上开设有24个硅片承载孔,24个硅片承载孔呈四行六列排布;

所述子框上开设有6个硅片承载孔,6个硅片承载孔呈一行六列排布;

所述母框与所述子框通过连接机构可拆卸连接,所述连接机构包括开设在母框上的滑槽,一设置在子框上的条状凸起,所述滑槽与所述条状凸起滑动连接,所述滑槽的引导方向为横向;

所述母框的前后两侧均开设有所述滑槽,且母框的上表面刻设有长度方向为纵向的第一刻度线;

所述子框的上表面靠近设有条状凸起侧也刻设有长度方向为纵向的第二刻度线;

所述第一刻度线距离所述母框左侧的间距等于第二刻度线距离所述子框左侧的间距。

2.根据权利要求1所述的硅片承载孔个数可调式石墨框,其特征在于:所述母框与所述子框还通过辅助连接装置可拆卸连接;

所述辅助连接机构设有至少三个,所述辅助连接机构包括石墨条,所述石墨条上沿着石墨条的长度方向设有5个等间距排布的圆柱状凹槽;

所述辅助连接机构还包括分别设置在所述母框与所述子框上用于插入同一石墨条的圆柱状凹槽的圆柱状凸起,所述圆柱状凸起的突出方向向下;

所述子框上用于插入单个石墨条上圆柱状凹槽的圆柱状凸起设有一个;

所述母框上用于插入单个石墨条上圆柱状凹槽的圆柱状凸起设有三个。

3.根据权利要求1所述的硅片承载孔个数可调式石墨框,其特征在于:所述母框与所述子框还通过辅助连接装置可拆卸连接;

所述辅助连接装置包括两个螺丝、一螺丝锁紧件,所述螺丝锁紧件上开设有分别用于螺纹连接两个螺丝的两个螺纹孔;

所述螺丝的头部位于石墨框的下方,所述螺丝锁紧件位于石墨框的上方;

所述母框设有用于穿过两个螺丝中的一个螺丝的母框通孔,所述子框上设有用于穿过两个螺丝中的另一个螺丝的子框通孔;

所述母框通孔位于靠近所述母框与子框的连接处;

所述子框通孔位于靠近所述母框与子框的连接处。

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