[实用新型]一种硅片支架有效
| 申请号： | 201721187908.3 | 申请日： | 2017-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN207458904U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 王敏;赵习靖;唐蓉 | 申请（专利权）人： | 无锡恒大电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 脚部 硅片支架 连接座 中心连接部 同一直线 本实用新型 机器设备 矩形区域 制造成本 垂直的 线形成 硅片 挡杆 拿取 延伸 | ||
1.一种硅片支架，其特征在于，包括连接座和连接在连接座上的挡杆；所述连接座包括中心连接部和四个由中心连接部向外延伸的脚部；所述脚部具有水平延伸的第一边沿和与第一边沿垂直的第二边沿；相邻的所述脚部的第一边沿在同一直线上，相邻的所述脚部的第二边沿在同一直线上；所述四个脚部的第一边沿和第二边沿的延长线形成一个矩形区域。
2.如权利要求1所述的一种硅片支架，其特征在于，相邻所述脚部之间形成一镂空区，所述镂空区由相邻脚部的第一边沿、第三边沿和中心连接部的外边沿构成。
3.如权利要求2所述的一种硅片支架，其特征在于，所述第三边沿与第一边沿呈一角度连接，并在所述矩形区域内延伸；所述中心连接部的外边沿与所述第一边沿平行，并在所述矩形区域内延伸。
4.如权利要求1所述的一种硅片支架，其特征在于，相邻所述脚部之间形成一镂空区，所述镂空区由相邻脚部的第二边沿、第四边沿和中心连接部的外边沿构成。
5.如权利要求4所述的一种硅片支架，其特征在于，所述第四边沿与第二边沿呈一定就凹度连接，并在所述矩形区域内延伸；所述中心连接部的外边沿与所述第二边沿平行，并在所述矩形区域内延伸。
6.如权利要求1所述的一种硅片支架，其特征在于，所述连接座的底部连接垫片，所述垫片的具有与所述连接座相同大小的中心连接部，并且具有尺寸大于所述连接座上脚部的脚部垫，所述脚部与脚部垫形成一台阶结构。
7.如权利要求6所述的一种硅片支架，其特征在于，每个所述脚部上固定两个档杆，所述第一边沿和第二边沿各固定一个档杆。
8.如权利要求7所述的一种硅片支架，其特征在于，所述档杆的底部具有与所述台阶结构形状相同的台阶结构，档杆的底部通过螺钉固定在所述台阶结构上。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
