[实用新型]一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统

权利要求书

1.一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统，其特征在于，包括依次管道连接的真空泵(1)、风机(2)、H型管(3)、旋风除尘器(4)、脱油吸附筒(5)和布袋除尘器(6)，所述布袋除尘器(6)出气口设有氧含量检测仪(7)，且布袋除尘器(6)出气口通过两个分支管道分别连接至副气囊(9)和主气囊(12)，两个分支管道上分别设置第一调节阀(8)和第二调节阀(10)；所述副气囊(9)通过带有第三调节阀(11)的管道连通至主气囊(12)，所述主气囊(12)通过管道连接至空气压缩机；所述氧含量检测仪(7)电路连接至控制器，所述控制器分别连接第一调节阀(8)、第二调节阀(10)和第三调节阀(11)。

2.如权利要求1所述的一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统，其特征在于，所述真空泵(1)至风机(2)的出口端保持正压。

3.如权利要求1所述的一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统，其特征在于，所述控制器根据氧含量检测仪(7)的数值控制第一调节阀(8)和第二调节阀(10)的开关，氧含量检测仪(7)检测到含氧量≥1％时，第一调节阀(8)打开，第二调节阀(10)关闭；氧含量检测仪(7)检测到含氧量＜1％时，第一调节阀(8)关闭，第二调节阀(10)打开。