[实用新型]镀膜线平面阴极短路检修装置有效
申请号: | 201721189767.9 | 申请日: | 2017-09-15 |
公开(公告)号: | CN207525327U | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 董清世;张怀志 | 申请(专利权)人: | 信义玻璃工程(东莞)有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;H02H11/00;G01R31/02 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 523935 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 隔离变压器 连接线组 平面阴极 电性连接 控制开关组 单相电 次侧 检修装置 低压电 镀膜线 短路 玻璃生产设备 负载输出回路 阴极 本实用新型 电性连通 短路故障 控制电路 输出 通断 检修 转化 | ||
本实用新型属于玻璃生产设备技术领域,尤其涉及一种镀膜线平面阴极短路检修装置,包括隔离变压器、用于将隔离变压器与平面阴极电性连通的连接线组和用于控制电路通断的控制开关组,隔离变压器设有用于接入220V或380V单相电的高压侧和用于输出低压电的二次侧,连接线组的一端与隔离变压器的二次侧电性连接,连接线组的另一端与平面阴极电性连接,控制开关组与连接线组电性连接。通过设置隔离变压器,并将其高压侧接入单相电,那么单相电便可在隔离变压器内转化为低压电并从其二次侧输出,并使得控制开关组与连接线组电性连接,以使得隔离变压器与连接线组、控制开关和平面阴极共同形成负载输出回路,以实现对平面阴极短路故障的简单且有效的检修。
技术领域
本实用新型属于玻璃生产设备技术领域,尤其涉及一种镀膜线平面阴极短路检修装置。
背景技术
磁控溅射镀膜线在正常生产过程中,平面阴极与阳极底板之间空间狭小,在磁场作用下容易生长针状毛刺,一旦平面阴极与阳极底板连通瞬间便短路造成跳靶,直流电源由于有短路保护而无法开启。在此种情况下,现有技术的一般做法是多次尝试开启直流电源,而无法开启则需要放气处理,如此不但造成时间浪费,且成本相应地提高,还可能造成生产期限的延误。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种镀膜线平面阴极短路检修装置,旨在解决现有技术中镀膜线平面阴极出现短路造成跳靶后无法再次开启的技术问题。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种镀膜线平面阴极短路检修装置,其特征在于:包括隔离变压器、用于将所述隔离变压器与平面阴极电性连通的连接线组和用于控制电路通断的控制开关组,所述隔离变压器设有用于接入220V或380V单相电的高压侧和用于输出低压电的二次侧,所述连接线组的一端与所述隔离变压器的二次侧电性连接,所述连接线组的另一端与所述平面阴极电性连接,所述控制开关组与所述连接线组电性连接。
进一步地,所述隔离变压器的高压侧设有用于接通220V或380V单相电的高压输入端,所述隔离变压器的二次侧设有用于输出12V或24V单相电的低压输出端。
进一步地,所述连接线组包括阳极连接线和阴极连接线,所述阳极连接线的两端分别与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阳极端电性连接,所述阴极连接线的两端分别与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阴极端电性连接。
进一步地,所述隔离变压器的低压输出端设有用于与所述阳极连接线电性连接的阳极接口和用于与所述阴极连接线电性连接的阴极接口。
进一步地,所述阳极连接线的直径和所述阴极连接线的直径均为2.5mm或4.0mm。
进一步地,所述阳极连接线和所述阴极连接线均为单芯铜线或多芯铜线。
进一步地,所述控制开关组包括第一控制开关,所述第一控制开关设于所述隔离变压器与所述220V或380V单相电的输出端之间并与所述隔离变压器和所述220V或380V单相电的输出端电性连接。
进一步地,所述控制开关组还包括第二控制开关,所述第二控制开关设于所述阳极连接线上且与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阳极端电性连接。
进一步地,所述第一控制开关和所述第二控制开关均为闸刀开关。
本实用新型的镀膜线平面阴极短路检修装置,通过设置隔离变压器,并使得隔离变压器上的高压侧接入220V或380V单相电,那么220V或380V单相电便可在隔离变压器内转化为低压电并从隔离变压器的二次侧输出,进而通过连接线组与平面阴极电性连接,并使得控制开关组与连接线组电性连接,以使得隔离变压器的二次侧与连接线组、控制开关和平面阴极共同形成负载输出回路,以实现对平面阴极短路故障的简单且有效的检修。
附图说明
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