[实用新型]自动硅片清洗机挂篮挂构装置

说明书

本实用新型公开了一种自动硅片清洗机挂篮挂构装置，包括用于安装在自动硅片清洗机上的挂钩以及与挂钩配合使用的挂篮，所述挂钩包括左右两个挂板，并且左右挂板设置为：两个挂板的上端形成的开口大于两个挂板的下端形成的开口；所述挂篮的两侧壁上安装有用于挂接在上述挂钩的两个挂板内的轴承，所述轴承位于挂篮的侧壁的内部，所述轴承由两个挂板的上端开口进入，随着两个挂板间距离的变小，轴承挂在两个挂板内，由挂钩带着移动至目标位置。本实用新型提供一种自动硅片清洗机挂篮挂构装置，采用柔性接触轴承连接，挂篮挂构可牢固连接的范围大。

技术领域

本实用新型涉及一种自动硅片清洗机挂篮挂构装置。

背景技术

老式的自动硅片清洗机挂篮在设计上有缺陷，经常出现挂篮和挂钩挂不上，出现脱钩的问题，造成挂篮和里面的硅片从高处掉落损坏。老式的挂篮与挂钩是一种硬接触形式的连接，挂篮与挂钩都是嵌套式装置，对挂篮的位置要求精度高，没有缓冲的空间，只有挂篮运行到指定的位置上，挂钩下落后才能跟挂篮进行连接，如果挂篮在行进过程中出现误差或其他原因导致的位置偏差，导致挂篮没有达到指定的位置，这时挂钩下落时就无法准确的与挂篮进行安全紧密的嵌套连接，如果挂钩继续上升就会出现把挂篮带到高处脱落的问题，造成挂篮和硅片的损坏。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种自动硅片清洗机挂篮挂构装置，采用柔性接触轴承连接，挂篮挂构可牢固连接的范围大。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种自动硅片清洗机挂篮挂构装置，包括用于安装在自动硅片清洗机上的挂钩以及与挂钩配合使用的挂篮，所述挂钩包括左右两个挂板，并且左右挂板设置为：两个挂板的上端形成的开口大于两个挂板的下端形成的开口；所述挂篮的两侧壁上安装有用于挂接在上述挂钩的两个挂板内的轴承，所述轴承位于挂篮的侧壁的内部，所述轴承由两个挂板的上端开口进入，随着两个挂板间距离的变小，轴承挂在两个挂板内，由挂钩带着移动至目标位置。

进一步，所述挂篮的相对的内壁上各安装一个轴承，所述挂钩也设置有两个，并且安装在自动硅片清洗机的机械手的对应位置上，所述轴承为单向轴承，并且所述两个轴承互为反向安装，以使其中一个逆时针转动，另一个顺时针转动。

进一步，所述挂篮的两侧壁之间设置有多个加强筋，加强筋、侧壁以及挂篮的底壁共同围成容纳硅片清洗花篮的空间，以将挂篮内的硅片清洗花篮限制在上述空间内。

采用了上述技术方案，本实用新型将原来的机械硬接触的嵌套装置改造成柔性接触的轴承，相互配合的两个挂板构成一个挂钩，即使挂钩或者挂篮的位置有偏差，但只要挂篮的轴承处于挂钩的三角型开口区域内即可实现连接，由于轴承是可以旋转的，只要跟挂钩的挂板接触到就可以完全滑落到挂钩内，避免了老式挂篮经常出现的脱落、变形和损坏等问题；本实用新型采用了单向轴承，单向轴承的特点就是只能往一边旋转，单向轴承在挂篮的两侧壁上互为反向安装，一个逆时针转动，一个顺时针转动，形成反向的力矩，能够有效避免挂篮提到空中后晃荡的问题。

附图说明

图1为本实用新型的自动硅片清洗机挂篮挂构装置整体结构示意图；

图2为本实用新型的挂钩安装在自动硅片清洗机的机械手上的装配图；

图3为本实用新型的挂篮的结构示意图；

图4为本实用新型的工作原理图。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。