[实用新型]太阳能电池背腐蚀的上料装置有效
申请号: | 201721197439.3 | 申请日: | 2017-09-19 |
公开(公告)号: | CN207909847U | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
发明(设计)人: | 陈光 | 申请(专利权)人: | 中建材浚鑫科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 姚姣阳 |
地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传输轨道 伸缩轨道 上料装置 尾段 传送带 硅片 侧向 本实用新型 顶升气缸 翻片机构 首段 电机 腐蚀 太阳能电池 传送平面 硅片扩散 衔接 翻转 朝上 传动 打滑 挡块 跨接 上料 受控 载片 接续 花篮 传输 应用 检查 | ||
1.太阳能电池背腐蚀的上料装置,以竖置的花篮底部为起点,花篮每条槽中载有背靠背叠放的两片硅片,其特征在于:所述上料装置由电机、伸缩轨道、侧向移片单元、传输轨道、翻片机构、相对传输轨道尾段垂直方向的传送带及顶升气缸构成,其中所述伸缩轨道一端衔接花篮底部并设有限制硅片打滑的挡块;所述侧向移片单元跨接于伸缩轨道和传输轨道尾段之间;所述传输轨道首段与伸缩轨道另一端相接续,所述翻片机构设于传输轨道首段与尾段之间并用于180°翻转硅片、衔接传输;所述传送带受控于顶升气缸高出或低落于传输轨道尾段的传送平面,所述伸缩轨道、传输轨道和传送带均受驱传动于各自的电机。
2.根据权利要求1所述太阳能电池背腐蚀的上料装置,其特征在于:所述伸缩轨道的长度为自花篮取片周期距离的整数倍,所述周期距离为硅片边长与传送方向上两片硅片的间距之和。
3.根据权利要求1所述太阳能电池背腐蚀的上料装置,其特征在于:定义硅片的切割尺寸为156mm×156mm×0.2mm,伸缩轨道所设挡块尺寸为1mm×1mm×10mm,所述挡块对应每片硅片的间距为157mm~160mm、对应传送方向相邻的两片硅片的间距为60mm,所述传送带的长度为219mm的两倍以上。
4.根据权利要求1所述太阳能电池背腐蚀的上料装置,其特征在于:所述侧向移片单元设有吊轨和一个以上挂装于吊轨之上、吹吸气式的吸盘,且吸盘受控同步往返于吊轨两端,在吊轨的一端所述吸盘吸取伸缩轨道上背靠背叠放的两片硅片中上层的硅片;在吊轨的另一端所述吸盘释放硅片于传输轨道尾段上。
5.根据权利要求1或4所述太阳能电池背腐蚀的上料装置,其特征在于:所述侧向移片单元设有两个沿伸缩轨道传输方向排列的吸盘,且两个吸盘的间距与传输方向上两片硅片的间距相匹配。
6.根据权利要求1所述太阳能电池背腐蚀的上料装置,其特征在于:所述翻片机构由转轮和围绕转轮周向均匀间隔而设的若干对硅片夹爪组成,其中任一个硅片夹爪具有适于硅片穿插其中的容片槽,且任意对硅片夹爪的间距与硅片宽度相匹配。
7.根据权利要求1所述太阳能电池背腐蚀的上料装置,其特征在于:所述传输轨道首段与翻片机构之间设有装填硅片到位于翻片机构的第一过渡轨道,所述翻片机构与传输轨道尾段之间设有推出翻转后硅片的第二过渡轨道。
8.根据权利要求1所述太阳能电池背腐蚀的上料装置,其特征在于:所述电机为伺服电机。
9.根据权利要求1所述太阳能电池背腐蚀的上料装置,其特征在于:所述上料装置沿传输轨道尾段传送方向排列设有两条以上的传送带,且每条传送带各续接一条上料轨道、同步上料硅片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造