[实用新型]一种加热装置有效
申请号: | 201721197623.8 | 申请日: | 2017-09-18 |
公开(公告)号: | CN207489805U | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 应力平;裴雷洪;严骏;石庆球 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01L21/67 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热炉 电源端口 加热装置 金属棒 高频交变电流 半导体技术 本实用新型 离子注入机 固体源 加热 缠绕 离子 应用 | ||
1.一种加热装置,应用于加热一离子注入机的加热炉内的固体源,其特征在于,包括:
一金属棒,设置于所述加热炉内;
一线圈,缠绕所述金属棒设置;以及
所述线圈包括两个电源端口,所述两个电源端口用以连接高频交变电流。
2.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述加热炉的轮廓与所述线圈的轮廓配合。
3.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述线圈由空心铜管绕制而成。
4.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述线圈的表面设置有绝缘层。
5.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,还包括:
高频交流电源,所述高频交流电源的正负极分别与所述线圈的两个所述电源端口连接。
6.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述加热炉的底部设置有一固定板;
所述金属棒的一端固定于所述固定板上;
两个所述电源端口分别穿过所述固定板延伸至所述加热炉外。
7.根据权利要求6所述的加热装置,其特征在于,还包括:
一炉罩,与所述固定板连接;
所述金属棒和所述线圈设置于所述炉罩与所述固定板形成的空间内。
8.根据权利要求6所述的加热装置,其特征在于,所述固定板由金属材料制成。
9.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述固体源的熔点为800℃~1200℃。
10.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述固体源为三氟化铟。
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