[实用新型]一种具有隔震垫的微动平台

说明书

技术领域

本实用新型属于先进制造中精密技术领域，尤其涉及一种具有隔震垫的微动平台。

背景技术

随着科技的进步，在现阶段精密定位技术的相关研究中，常用到由柔顺机构作为执行器的微动平台。但是微动平台虽然具有非常高的定位技术，但是成本较高。通常情况下，为了实现微动平台的精密定位要求，通常需要高性能驱动器及其控制系统，因此，通过设计一种低成本的微动平台，由成本较低的螺纹副对微动平台进行驱动，既实现了较小的精密输出，同时也降低了微动平台的成本。目前，由于微动平台的精密度要求较高，机械振动常常会引发精密仪器损伤问题，现有的防震垫几乎没有是针对精密仪器研发的，尤其是引发精密仪器损伤的高频振动，很难隔除，效果很差，所以需要研发满足于精密仪器隔震需求的隔震垫。

发明内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种隔震效果好、能够避免高频振动对精密仪器损伤的具有隔震垫的微动平台。

本实用新型的一种具有隔震垫的微动平台，包括基座和设于所述基座上的支撑座，所述支撑座上设有底座，所述支撑座与所述底座之间设有多个柔性铰链，所述柔性铰链的一端与所述底座连接，所述柔性铰链的另一端与所述支撑座连接，所述底座上设有微动平台，所述底座上设有两相互垂直的凹槽，所述凹槽内设有一由微型电机驱动的微调机构，所述基座的底部可拆卸设有隔震垫，所述隔震垫的底部设有支脚，所述隔震垫包括与所述底座可拆卸连接的第一支板，所述第一支板的上侧面与所述底座的底部接触，所述第一支板在渐远下侧面的方向依次设有第一橡胶垫与第二支板，所述第一支板与所述第二支板由镍钛记忆合金制成，所述第二支板的下侧四角位置设有支脚，所述支脚包括弹簧架和设于所述弹簧架底部的第二橡胶垫，所述弹簧架为双管嵌套式结构，由外管和内管组成，第二橡胶垫设于外管的下端，所述内管的下段安装于外管中，且内管能够在外管中上下移动，所述外管中设有压簧，所述压簧的顶端抵持于内管上。

进一步的，所述基座内设有微型电机，所述微型电机的输出轴与所述支撑座连接。

进一步的，所述微调机构包括设于所述底座的侧壁并指向所述微动平台中心的螺杆，所述螺杆穿过所述底座的侧壁并延伸至凹槽内，所述螺杆与所述底座的侧壁通过螺纹连接，所述凹槽内设有折叠弹簧，所述折叠弹簧的一端作用于所述螺杆的端部，所述折叠弹簧的另一端作用于第一连杆的一端，所述第一连杆的另一端通过直圆柔性铰链连接一第二连杆的一端，所述第二连杆的另一端通过直圆柔性铰链与所述微动平台连接。

进一步的，位于底座外侧的螺杆端部设有微型电机，所述微型电机设于收纳盒内，所述收纳盒与所述底座可拆卸式固定连接。

进一步的，所述柔性铰链沿所述底座的周向均匀布设。

进一步的，所述底座上设有多个用于安装所述柔性铰链的第一螺纹孔，所述支撑座上设有多个用于安装柔性铰链的第二螺纹孔，所述柔性铰链包括与所述底座连接的上端和用于与所述支撑座连接的下端，所述上端具有与所述第一螺纹孔相匹配的第二螺纹孔，所述下端设于与所述第二螺纹孔相匹配的螺纹。

进一步的，所述上端与所述下端之间还设有圆形连接部，所述圆形连接部与所述上端之间设有柔性薄片。

进一步的，所述第一连杆与所述凹槽的侧壁之间通过四连杆柔性铰链连接。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本申请通过在基座的下端设置弹簧架和支脚可以有效消除高频振动对于精密仪器的损伤。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是本实用新型具有隔震垫的微动平台的结构示意图；

图2是本实用新型具有隔震垫的微动平台的俯视图；

图3是本实用新型具有隔震垫的微动平台的柔性铰链的结构示意图。

其中：

2是基座、4是支撑座、6是底座、8是柔性铰链、801是柔性铰链的上端、802是柔性铰链的下端、803是连接部、804是柔性薄片、10是微动平台、11是隔震垫、1101是第一支板、1102是橡胶垫、1103是第二支板、12是凹槽、13是支脚、1301是弹簧架、1301-1是外管、1301-2内管、1301-3是压簧、1302是第二橡胶垫、14是螺杆、16是折叠弹簧、18是第一连杆、20是第二连杆、22是第一螺纹孔。

具体实施方式