[实用新型]刀片探针

说明书

技术领域

本实用新型涉及芯片测试领域，尤其涉及一种刀片探针。

背景技术

刀片探针广泛应用于晶圆测试及芯片检测领域，用以筛选出不良品以避免不良品继续加工造成浪费。传统刀片探针包括刀型探针、金属刀架和印刷线路板，金属刀架分别与刀型探针和印刷线路板焊接连接，测试时调整好刀型探针的针尖位置即可进行测试，测试操作简单方便。然而，在实现本实用新型过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：采用传统刀片探针测试时，刀型探针检测到的信号经金属刀架传输至印刷线路板，信号通道全部裸露在外，使得信号传输容易受到干扰，测试频率越高，信号干扰越大，严重影响测试准确性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种刀片探针，以克服传统刀片探针存在的信号干扰大、测试结果不准确的技术问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种刀片探针，包括：探针固定件、探针和信号线，探针与探针固定件连接，探针上设置有屏蔽层，信号线的一端与探针连接，信号线的另一端用于测试时与测试机连接。

其中，屏蔽层包括绝缘层和金属层，绝缘层包覆在探针外侧，金属层设置在绝缘层外侧。

其中，绝缘层采用聚乙烯、聚丙烯或聚甲醛制成。

其中，绝缘层的厚度为0.02mm-0.5mm。

其中，金属层采用不锈钢或铜制成。

其中，金属层的厚度为0.1mm-1.0mm。

其中，探针固定件包括固定板和固定支架，固定支架一端与固定板连接，固定支架另一端与探针连接。

其中，固定支架包括支架本体、固定杆、滑动块和紧固件，支架本体与探针连接的一端的端部设置有挡板，固定杆与挡板连接，滑动块和紧固件均与固定杆套接连接。

其中，固定支架还包括弹性件，弹性件设置在挡板与滑动块之间，且弹性件与固定杆套接连接。

其中，弹性件为弹簧。

上述刀片探针的探针上设置屏蔽层，并且探针通过信号线直接与测试机连接，实现信号通道屏蔽，有效避免了信号传输受到干扰，大大提高了测试准确性。

附图说明

图1为一个实施例中刀片探针的结构示意图；

图2为一个实施例中探针的结构剖视图；

图3为一个实施例中固定支架的结构剖视图；

图4为一个实施例中刀片探针的使用示意图。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明/实用新型的限制。

请参阅图1，一种刀片探针10，包括：探针固定件11、探针12和信号线13，探针12与探针固定件11连接，探针12上设置有屏蔽层14，信号线13的一端与探针12连接，信号线13的另一端用于测试时与测试机连接。

本实施例中，探针12上设置屏蔽层14，且测试时12探针通过信号线13直接与测试机连接，实现了信号通道屏蔽，有效避免了信号传输受到干扰，大大提高了测试准确性。

如图2所示，屏蔽层14包括绝缘层141和金属层142，绝缘层141包覆在探针12外侧，金属层142设置在绝缘层141外侧。具体地，绝缘层141包覆探针12，金属层142包覆在绝缘层141外侧，测试时金属层142通过测试机接地，保护信号传输不受干扰。在一个实施例中，绝缘层141采用聚乙烯、聚丙烯或聚甲醛中的任意一种制成，金属层采用不锈钢或铜制成。其中，绝缘层141及金属层142的厚度可根据实际应用中探针12的尺寸及具体需求灵活设置。在一个实施例中，绝缘层的厚度为0.02mm-0.5mm，金属层的厚度为0.1mm-1.0mm，优选地，在一个实施例中，绝缘层的厚度为0.05mm，金属层的厚度为0.15mm。

进一步地，在一个实施例中，信号线13采用同轴电缆线，同轴电缆线的电缆线与探针12连接，同轴电缆线的绝缘层与探针12外侧的绝缘层141对应连接，且同轴电缆线的外层电缆层与金属层142对应连接，测试时金属层142和同轴电缆线的电缆层通过测试机接地，确保保护信号传输不受干扰，提高测试准确性。