[实用新型]一种用于提高减薄机精度的斜坡式装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子行业减薄机辅助设备的技术领域，具体为一种用于提高减薄机精度的斜坡式装置。

背景技术

面对快速发展的半导体工业和各层次半导体及集成电路产品的大量需求，根据半导体和集成电路专用设备递进发展、多代共存的特点，在瞄准世界先进水平的同时，巩固已有成果，提高产品质量，满足其它工艺层次生产线对专用设备的需求。推动中国集成电路产业进入“黄金发展时期”，面向国家集成电路产业链建设和战略性新兴产业发展，将以关键技术为突破的，系统的创造新技术新产品。

电子产品小型化的要求，在电子制造中的晶圆级封装也得到更多的应用，芯片级封装对设备提出了更高的要求，要求设备有更高的精度。目前我国所使用的电子半导体专用设备精度完全不能满足市场需求。因此就发明了一种用于提高减薄机精度的斜坡式装置，不仅降低成本，而且提高了减薄机的精度。

目前机械设备行业中光栅尺被广泛应用，主要应用于数控机床的闭环伺服系统中，可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲，具有检测范围大，检测精度高，响应速度快的特点。一般情况下，光栅尺主要是安装在工作台滑块上，随着机床走刀而动。而普通光栅尺的测量精度一般在

0.2-0.3um中，高精密光栅尺可达到0.1um，这种精度的光栅尺价格高，无形增加了设备成本，而普通精度的光栅尺不能满足减薄机的精度要求。因此针对上述问题我们研制了一种将光栅尺与斜坡式装置组合结构应用于减薄机，其不但提高了减薄机的精度，而且降低了设备的购买成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对以上所述的现有技术中存在的问题，提供一种将光栅尺与斜坡式装置及曲柄结构的组合结构应用于减薄机，其不但提高了减薄机的精度，而且降低了设备的购买成本。

为了实现所述目的，本实用新型具体采用如下技术方案：

一种用于提高减薄机精度的斜坡式装置，电主动滑块1，所述的电主动滑块1通过螺栓与联动轴机架箱2连接，联动轴机架箱2下方通过螺钉连接有导轨3，导轨3下方通过螺钉连接有完成电主轴滑块1移动量测量的光栅尺7，所述的导轨3内部安装(安装方式是什么，使丝杠才能在导轨内活动)丝杠4，且丝杠4前端穿出导轨3、安装有第一斜齿轮，后端与安装在导轨3内的滑块连接，所述的滑块通过曲柄结构与联动轴机架箱2主轴连接；所述的第一斜齿轮与第一斜齿轮配合连接的有与电机联动轴6连接第二斜齿轮及第三斜齿轮5，其电机驱动电机联动轴6带动第二斜齿轮转动，且第二斜齿轮带动了第一斜齿轮、第三斜齿轮5转动，第一斜齿轮带动丝杠4及丝杠后端的滑块做水平往复运动，而做水平往复运动的滑块推动曲柄结构，使曲柄结构推动电主动滑块1做上下往复运动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：所述的丝杠4前端连接有齿轮组，后端通过滑块连接有曲柄结构，其光栅尺通过测量丝杠的水平移动量来确定电主轴滑块1移动量，其不但提高了减薄机的精度，而且降低了设备的购买成本，并且将光栅尺与斜坡式装置及曲柄结构的组合起来解决上述问题，操作方便、使用安全。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：电主动滑块1，联动轴机架箱2，导轨3，丝杠4，第三斜齿轮5，电机联动轴6，光栅尺7。

具体实施方式

以下结合附图1对本实用新型的结构及其有益效果进一步说明。

实施例1

一种用于提高减薄机精度的斜坡式装置，如图1所示，电主动滑块1，所述的电主动滑块1通过螺栓与联动轴机架箱2连接，联动轴机架箱2下方通过螺钉连接有导轨3，导轨3下方通过螺钉连接有完成电主轴滑块1移动量测量的光栅尺7，所述的导轨3内部安装丝杠4，且丝杠4前端穿出导轨3、安装有第一斜齿轮，后端与安装在导轨3内的滑块连接，所述的滑块通过曲柄结构与联动轴机架箱2主轴连接；

所述的第一斜齿轮与第一斜齿轮配合连接的有与电机联动轴6连接第二斜齿轮及第三斜齿轮5，其电机驱动电机联动轴6带动第二斜齿轮转动，且第二斜齿轮带动了第一斜齿轮、第三斜齿轮5转动，第一斜齿轮带动丝杠4及丝杠后端的滑块做水平往复运动，而做水平往复运动的滑块推动曲柄结构，使曲柄结构推动电主动滑块1做上下往复运动，所述的光栅尺通过测量丝杠的水平移动量来确定电主轴滑块1移动量，其不但提高了减薄机的精度，而且降低了设备的购买成本