[实用新型]一种等离子减薄装置

权利要求书

1.一种等离子减薄装置，其特征在于，包括第一电极、第二电极、惰性气体供给装置与刻蚀气体供给装置，其中，所述第一电极与第二电极平行设置，二者之间具有间隙，所述惰性气体供给装置用于向所述间隙内通入惰性气体，以在所述间隙内形成等离子体，所述等离子体向所述间隙外喷出形成等离子体火焰，所述刻蚀气体供给装置用于向所述等离子体火焰中通入刻蚀气体。

2.根据权利要求1所述的等离子减薄装置，其特征在于，所述等离子体火焰的长度大于10mm。

3.根据权利要求1或2所述的等离子减薄装置，其特征在于，还包括用于承载待加工工件的工作台，所述间隙正对所述工作台。

4.根据权利要求3所述的等离子减薄装置，其特征在于，还包括移动模组，所述移动模组用于驱动所述工作台相对所述第一电极、第二电极运动，或者驱动所述第一电极、第二电极相对所述工作台运动。

5.根据权利要求1或2所述的等离子减薄装置，其特征在于，所述惰性气体为氦气或者氩气。

6.根据权利要求1或2所述的等离子减薄装置，其特征在于，所述刻蚀气体为四氟化碳或者六氟化硫。

7.根据权利要求1或2所述的等离子减薄装置，其特征在于，由所述惰性气体供给装置喷射出的惰性气体吹扫位于所述间隙内的等离子体以形成所述等离子体火焰。