[实用新型]扫描隧道显微镜

权利要求书

1.扫描隧道显微镜，其特征在于，所述扫描隧道显微镜包括镜体(1)、压电扫描管(2)、以及压电步进马达(3)，镜体(1)内置空腔(1-1)，压电扫描管(2)和压电步进马达(3)均安装在所述空腔(1-1)内，压电步进马达(3)包括绝缘导轨(4)、滑杆(5)、弹簧片(6)以及圆球(7)，绝缘导轨(4)包括中空端(4-1)和中空定位端(4-2)，中空端(4-1)的一端和中空定位端(4-2)的一端一体成型，圆球(7)对称粘接在中空端(4-1)的内部两侧，滑杆(5)安装在绝缘导轨(4)的中心、且与圆球(7)接触，滑杆(5)的两端分别从中空端(4-1)的另一端以及中空定位端(4-2)的另一端伸出，弹簧片(6)的一端与中空定位端(4-2)的内侧粘接，弹簧片(6)的另一端与滑杆(5)接触，中空定位端(4-2)的外侧与压电扫描管(2)的一端连接，压电扫描管(2)的另一端与空腔(1-1)内的上端相连，空腔(1-1)的下端设有样品支架(8)，滑杆(5)靠近样品支架(8)的这端设有探针插座(9)，探针插座(9)内安装探针(10)。

2.如权利要求1所述的扫描隧道显微镜；其特征在于，圆球(7)通过环氧树脂胶与所述中空端(4-1)的内部两侧粘接。

3.如权利要求1所述的扫描隧道显微镜；其特征在于，还包括样品(11)，样品(11)放置在样品支架(8)上。

4.如权利要求1所述的扫描隧道显微镜；其特征在于，探针(10)采用经过电化学腐蚀获得的钨丝针尖。

5.如权利要求1所述的扫描隧道显微镜；其特征在于，所述弹簧片(6)为铍铜弹簧片。

6.如权利要求1-5中任一项所述的扫描隧道显微镜；其特征在于，所述圆球(7)为氮化硅圆球。

7.如权利要求6所述的扫描隧道显微镜；其特征在于，氮化硅圆球的数量为4个。