[实用新型]一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置

权利要求书

1.一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置，其特征在于，包括：

相位板安装座(1)，其包括安装有相位板(4)的座体(101)、设置在所述座体(101)上的第一固定机构(102)和第二固定机构(103)；

相位板转移杆(2)，其一端与透射电镜的样品台(11)相连接，另一端设置有能够与所述第一固定机构(102)可拆卸连接的第一连接机构(201)并伸入所述透射电镜的镜筒(5)内；

相位板支架(3)，其设置有能够与所述第二固定机构(103)可拆卸连接的第二连接机构(301)，远离所述镜筒(5)的一端的所述相位板支架(3)通过支撑杆(6)与三维调节台(7)相连接；所述三维调节台(7)用于调节所述相位板支架(3)的位置，使所述相位板转移杆(2)上的第一连接机构(201)与所述相位板安装座(1)上的第一固定机构(102)相连接/分离，以及使所述相位板支架(3)上的第二连接机构(301)与所述相位板安装座(1)上的第二固定机构(103)相连接/分离。

2.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置，其特征在于，所述相位板转移杆(2)上设置有一个或多个所述第一连接机构(201),所述相位板支架(3)上设置有一个或多个所述第二连接机构(301)。

3.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置，其特征在于，所述第一固定机构(102)为设置在所述座体(101)两侧的第一固定翼片(1021)，所述第一连接机构(201)包括设置在所述相位板转移杆(2)上的第一U型压簧(2011)，所述第一U型压簧(2011)与所述相位板转移杆(2)围成能够插入所述第一固定翼片(1021)的第一插槽(2012),所述第一插槽(2012)的边缘设置有方便所述第一固定翼片(1021)插入的第一倒角。

4.根据权利要求3所述的一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置，其特征在于，所述第二固定机构(103)为设置在所述第一固定翼片(1021)下方的两块第二固定翼片(1031)，所述第二连接机构(301)包括设置在所述相位板支架(3)上的第二U型压簧(3011)，所述第二U型压簧(3011)与所述相位板支架(3)围成能够插入所述第二固定翼片(1031)的第二插槽(3012)，所述第二插槽(3012)的边缘设置有方便所述第二固定翼片(1031)插入的第二倒角。

5.根据权利要求4所述的一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置，其特征在于，相邻的所述第一固定翼片(1021)和所述第二固定翼片(1031)相互垂直的设置在所述座体(101)的侧壁上。

6.根据权利要求4所述的一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置，其特征在于，所述第一插槽(2012)和第二插槽(3012)内均设置有用于对正所述相位板(4)位置的通光孔。

7.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置，其特征在于，所述座体(101)的中心设置有相位板卡槽(104)，所述相位板卡槽(104)通过“C”形卡簧(105)用来固定相位板(4)和/或物镜光阑。

8.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置，其特征在于，所述相位板转移杆(2)的杆体与所述透射电镜的样品杆的杆体的尺寸形状相同。

9.根据权利要求1至8任一项所述的一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置，其特征在于，还包括真空仓(8)，所述真空仓(8)一侧通过真空法兰(9)与所述透射电镜的镜筒(5)相连接，所述三维调节台(7)设置在所述真空仓(8)的内部，远离所述镜筒(5)的一端的所述支撑杆(6)与所述三维调节台(7)相连接，靠近所述镜筒(5)的一端与所述相位板支架(3)相连接，所述支撑杆(6)通过所述三维调节台(7)进行位置调整，使设置在所述相位板支架(3)上的相位板在所述镜筒(5)内进行位置调整。

10.根据权利要求9所述的一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置，其特征在于，所述三维调节台(7)通过设置在所述真空仓(8)上的真空电连接器(10)与控制器电连接，所述控制器用于控制所述三维调节台(7)在X、Y、Z方向上的位置调整。