[实用新型]一种涂布设备

说明书

公开了一种涂布设备，包括：基台，用于承载待涂布的基板；喷头，可以移动地位于基台上方，用于涂布基板；干燥装置，位于基台上；以及传动装置，与干燥装置连接，用于将干燥装置传动至基板上方或将所述干燥装置从所述基板上方撤离。本实用新型的涂布设备的干燥装置喷出干燥气体可以在短时间内赶走涂布溶液薄膜附近的湿润空气，使涂布溶液薄膜快速凝固，从而避免在涂布完成或者涂布过程中，涂布溶液薄膜与除尘室内湿润气体长时间接触而发生缓慢反应，最终导致被涂布基板劣化。

技术领域

本实用新型涉及一种涂布设备领域，更具体地涉及一种可进行干燥操作的涂布设备。

背景技术

涂布设备为精密生产设备且被涂布基板良率易受空气中微尘的影响，因此涂布设备一般位于可以调控空气温湿度的无尘室内，以延长涂布设备的寿命同时保证涂布基板良率。当涂布溶液粘度较低时，为防止搬送时基板变形导致涂布溶液膜薄厚不均，通常需要在涂布后让基板在涂布机载台上静置一段时间，使涂布溶液薄膜自然干燥。但是，在静置的这段时间内涂布溶液薄膜与无尘室内具有一定湿度空气充分接触，并且发生缓慢反应，最终导致基板劣化。

为了避免涂布溶液薄膜在完成涂布后或者涂布过程中与无尘室的湿润空气发生缓慢反应，现有技术可采用压缩抽干机，将无尘室内部的湿润空气抽干。但是，所采用的压缩抽干机并不能迅速的抽干周围的湿润空气，仍然不能解决涂布溶液薄膜与周围湿润空气缓慢反应的问题，不能保证基板质量。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种涂布设备，在基板涂布后或者涂布过程中能够避免涂布溶液薄膜与周围湿润空气长时间接触而发生的缓慢反应，保证被涂布基板的质量。

为解决上述技术问题，本实用新型涂布设备包括：基台，用于承载待涂布的基板；喷头，可以移动地位于所述基台上方，用于涂布所述基板；干燥装置，位于所述基台上；以及传动装置，与所述干燥装置连接，用于将所述干燥装置传动至所述基板上方或将所述干燥装置从所述基板上方撤离。

进一步地，所述干燥装置还包括：腔体；进气口，与所述腔体连通，用于向所述腔体输入干燥气体；出气口，与所述腔体连通，位于所述腔体的下表面。

进一步地，所述干燥装置还包括:多个球体，位于所述腔体内。

进一步地，所述多个球体尺寸不同。

进一步地，所述多个球体的尺寸随与所述进气口的距离增大而逐渐增大。

进一步地，所述多个球体是吸湿球体或外部包裹有吸湿层的非吸湿球体。

进一步地，所述出气口为包括多个通孔的面板。

进一步地，所述多个通孔的尺寸相同，并且在所述面板上阵列排布。

进一步地，所述干燥装置还包括：空气过滤网，位于所述腔体内部并且靠近所述出气口的位置。

进一步地，所述传动装置包括：滑块，与所述干燥装置连接；滑道，横向延伸于所述干燥装置上方，所述滑块在所述滑道内滑动带动所述干燥装置传动至所述基板上方或将所述干燥装置从所述基板上方撤离。

根据本实用新型的涂布设备，基板的涂布工作开始之前，涂布设备的传动装置将干燥装置传送至基台上方。传动装置高度在保证基板表面的风速均匀和不干扰其他机构运作的前提下，尽量靠近基板的被涂布表面。由干燥装置出气口喷出的干燥气体经过干燥装置内部的空气过滤网快速的扩散导出，均匀地作用在涂布溶液薄膜上，使涂布溶液薄膜暂时与无尘室内的湿润空气隔离，避免发生缓慢反应，同时加速涂布溶液薄膜的干燥。这样不仅能够避免涂布设备受到损坏，而且可以保证产品良率，提高产品性能。完成干燥后，干燥装置的传动装置可将干燥装置撤离基台上方。其中干燥装置的腔体内部分布着尺寸不同的多个球体，多个球体的尺寸随与干燥装置进气口距离的增大而逐渐增大，多个球体可为刚性吸湿球体，从而保证干燥装置腔体内部干燥气体均匀喷出，有效提高涂布质量。