[实用新型]一种真空泵N+1系统装置有效
| 申请号： | 201721228892.6 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN207393438U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 范小超;熊颖斌;谭建 | 申请（专利权）人： | 中航（重庆）微电子有限公司 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06;F04B39/10 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 401331 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空泵 系统 装置 | ||
1.一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，包括：
若干炉管设备；
若干真空泵，每一所述真空泵分别与一所述炉管设备相连接，每一所述真空泵和一所述炉管设备之间设有一单向阀；
若干预警装置，每一所述真空泵设置有一所述预警装置；
一真空备泵，若干所述炉管设备均与所述真空备泵相连接，所述真空备泵与若干所述炉管设备之间均设有一电磁阀，所述真空备泵与若干所述预警装置均信号连接，若干所述预警装置分别与若干所述电磁阀信号连接；
一排放装置，若干所述真空泵和所述真空备泵均与所述排放装置相连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，每一所述单向阀的方向为所述炉管设备至所述真空泵。
3.根据权利要求1所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，每一所述炉管设备与一所述真空泵均通过第一管道连接。
4.根据权利要求3所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，还包括若干第二管道，若干所述第二管道的一端分别与所述真空备泵相连接，每一所述第一管道分别与一所述第二管道相连通。
5.根据权利要求4所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，每一所述第一管道与一所述第二管道相连通的交接点位于一所述单向阀和所述炉管设备之间。
6.根据权利要求1所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，若干所述真空泵和所述真空备泵均与所述排放装置通过管道连接。
7.根据权利要求1所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，所述排放装置上开设有若干进气口和一排气口，若干所述真空泵和所述真空备泵分别与若干所述进气口连接。
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