[实用新型]用于电镀溶液中银浓度的持续监控装置有效
| 申请号： | 201721233145.1 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN207397113U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 王芳;王兴平 | 申请（专利权）人： | 确信乐思化学（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05D11/04 | 分类号： | G05D11/04 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 刘粉宝 |
| 地址： | 201417 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电镀 溶液 浓度 持续 监控 装置 | ||
【权利要求书】：
1.用于电镀溶液中银浓度的持续监控装置，其特征在于，所述持续监控装置包括测定装置、补加装置和控制器，其中
所述测定装置包括镀液腔、冷却腔和探针，所述镀液腔和所述冷却腔之间通过进液管流体连通用来将镀液腔中的镀液抽取到冷却腔中进行冷却，所述冷却腔和探针之间通过输液管流体连通用于将冷却腔中的镀液抽取到探针中进行浓度检测，所述探针与镀液腔通过镀液回流及排气管流体连通用来待浓度检测完毕后将探针中的镀液回流到镀液腔中；
所述补加装置包括银离子储蓄器、定量加药器、用于银离子储蓄器和定量加药器之间流体连通的第二进液管、补充液回流及排气管以及用于在定量加药器和镀液腔之间流体连通的定量加药管。
2.根据权利要求1所述的持续监控装置，其特征在于，所述冷却腔内设置有用于检测腔内镀液温度的温度传感器。
3.根据权利要求1所述的持续监控装置，其特征在于，在所述测定装置中，所述进液管上连有第一进液泵，所述输液管上连接有第二进液泵，所述镀液回流及排气管上连有第二控制阀。
4.根据权利要求1所述的持续监控装置，其特征在于，在所述补加装置中，所述第二进液管上连有第三进液泵，所述补充液回流及排气管上连有第三控制阀，所述定量加药管上连有第三控制阀。
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