[实用新型]一种铜盘铜抛温度在线检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种温度在线检测装置，尤其涉及一种大尺寸一种铜盘铜抛温度在线检测装置。

背景技术

硬脆性材料因具有优良的机械性能和稳定的物理化学特性故被广泛应用于电子信息工程领域，如制备高温超导薄膜、红外光学窗口、微电子器件衬底等。然而在这些应用中很多硬脆材料零件为薄片状，且其表面需经过精密磨、抛加工。铜抛作为一种精密加工方法被广泛用于硬脆性薄片零件表面精密加工。

为了提高生产效率，在铜抛过程中往往采用大尺寸铜盘(如直径为1200-1500mm)对硬脆性薄片零件进行批量加工。由于在铜抛加工过程中会产生较多的热量，且铜盘表面热量的分布不均匀，使得铜盘表面温度不均，铜盘不同位置的变形不一致，导致大尺寸铜盘在铜抛过程中的面形精度难以控制，这将严重影响硬脆性薄片零件的铜抛加工精度。因此，为了保证硬脆性薄片零件的面形精度，必须严格控制铜抛过程中铜盘温度的变化。

为了控制大尺寸铜盘铜抛过程中温度的变化，目前工业上主要采用冷却的方式，即在铜抛内部布置迷宫式的水管，通过水的循环来实现对铜抛的冷却作用，如专利CN204366697U。水管的设计和布置只是考虑对铜盘整体的冷却，从整体上抑制铜盘温度的上升。然而，在铜抛过程中，大尺寸铜盘表面不同位置的温度存在较大差异，这种整体冷却的方式难以解决大尺寸铜盘表面温度不均匀问题，大尺寸铜盘的面形精度仍然难以控制。

实用新型内容

本实用新型提供了一种铜盘铜抛温度在线检测装置，其克服了背景技术中铜盘铜抛所存在的不足。

本实用新型解决其技术问题的所采用的技术方案是：

一种铜盘铜抛温度在线检测装置，包含铜盘、温度传感器、无线数据采集系统和显示屏；所述温度传感器分布于铜盘上以测量铜盘上不同位置的温度；所述无线数据采集系统包括采集模块、无线传输模块和无线信号接收模块，所述采集模块信号连接温度传感器以采集温度传感器所测得的温度数据，所述无线传输模块信号连接采集模块以采用无线信号形式将温度数据发射出去，所述无线信号接收模块接收无线传输模块所发射的温度数据；所述显示屏信号连接无线信号接收模块以显示接收到的温度数据，显示铜盘不同位置点上的温度。

一实施例之中：所述温度传感器采用红外测温传感器或热电偶测温传感器。

一实施例之中：所述采集模块采用数据采集卡或PLC或者模数转换器。

一实施例之中：所述采集模块信号和温度传感器之间通过无线方式进行传输。

一实施例之中：所述显示屏还连接有存储器，所述存储器保存温度数据。

一实施例之中：所述温度传感器中布置成多个同心圆，每个同心圆上周向间隔设置有上述的温度传感器。

一实施例之中：所述温度传感器中布置成由铜盘圆心开始的螺旋线，所述螺旋线上间隔设置有上述的温度传感器。

一实施例之中：所述温度传感器矩形阵列布置在铜盘上。

本技术方案与背景技术相比，它具有如下优点：

一种铜盘铜抛温度在线检测装置包含铜盘、温度传感器、无线数据采集系统和显示屏，温度传感器分布于铜盘上以测量铜盘上不同位置的温度，显示屏显示铜盘不同位置点上的温度，能对加工过程中铜盘的温度进行实时在线检测，精确测量大尺寸铜盘铜抛过程中铜盘表面温度，获得铜盘表面温度的分布规律，对铜抛过程中铜抛面形精度的控制、提高薄片零件的面形精度具有重要意义，通过该分布规律优化冷却结构；无线数据采集系统包括采集模块、无线传输模块和无线信号接收模块，采用无线传输则检测装置的设置不会影响到铜盘铜抛加工。

使用非接触式红外温度传感器，不会对加工过程造成影响。而且，非接触式红外温度传感器反应速度快，所以测得的温度数据时效性高。

使用无线数据采集系统，通过无线传输的方式来传输数据，可以使非接触式红外温度传感器内置在铜盘中，获得数据更加准确快捷。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1为本实用新型的大尺寸铜盘铜抛温度在线检测的结构示意图。

图2为本实用新型温度传感器排布方式的示意图；

图3为本实用新型大尺寸铜盘的结构图；

图4为本实用新型温度传感器结构图；

图5为本实用新型数据采集模块结构图；

图6为本实用新型无线信号接收模块结构图；

图7为本实用新型数字显示屏结构图；

附图中的标号说明：1--大尺寸铜盘；2--温度传感器；3--无线数据采集系统；4--数字显示屏。