[实用新型]聚四氟乙烯材质的喷涂管道有效

专利信息
申请号: 201721235702.3 申请日: 2017-09-25
公开(公告)号: CN207333984U 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 蔡聪正 申请(专利权)人: 嘉善天和半导体制程排气工业有限公司
主分类号: F16L9/127 分类号: F16L9/127;F16L58/10
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 姚海波
地址: 314111 浙江省嘉*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 聚四氟乙烯 材质 喷涂 管道
【说明书】:

本实用新型提供了一种聚四氟乙烯材质的喷涂管道,属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性不高的问题。本聚四氟乙烯材质的喷涂管道,包括呈管状的本体,还包括呈筒状的内筒,上述内筒外径小于本体内径,所述内筒端部具有凸出的挡沿且挡沿固连在本体端部处,所述内筒侧部具有若干贯穿的通孔,还包括固连在本体内侧的底漆层,上述内筒嵌在底漆层上且内筒内侧与底漆层相平齐,所述内筒内侧还具有聚四氟乙烯涂层。本聚四氟乙烯材质的喷涂管道稳定性高。

技术领域

本实用新型属于机械技术领域,涉及一种聚四氟乙烯材质的喷涂管道。

背景技术

半导体制作过程中会产生废气,该废气腐蚀性比较强,为了解决该问题,现有的管道中通常具有耐腐蚀涂层。

但是,现有管道的耐腐蚀涂层直接涂覆在管道内侧,耐腐蚀性涂层的连接牢固性不好。导致其稳定性不高。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的上述问题,提供一种结构紧凑且稳定性高的聚四氟乙烯材质的喷涂管道。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:

一种聚四氟乙烯材质的喷涂管道,包括呈管状的本体,其特征在于,还包括呈筒状的内筒,上述内筒外径小于本体内径,所述内筒端部具有凸出的挡沿且挡沿固连在本体端部处,所述内筒侧部具有若干贯穿的通孔,还包括固连在本体内侧的底漆层,上述内筒嵌在底漆层上且内筒内侧与底漆层相平齐,所述内筒内侧还具有聚四氟乙烯涂层。

内筒上的通孔能使底漆层部分嵌于通孔处,从而提高底漆层与内筒之间的连接稳定性,均匀喷涂在内筒内侧的聚四氟乙烯涂层能使整个管道内侧耐高温以及耐腐蚀性的性能提高。

在上述的聚四氟乙烯材质的喷涂管道中,所述内筒端部具有凸出的挡沿,上述的挡沿与本体端部相联。

在上述的聚四氟乙烯材质的喷涂管道中,所述挡沿与内筒为一体式结构。

在上述的聚四氟乙烯材质的喷涂管道中,所述的挡沿与本体端部通过焊接相固连。

在上述的聚四氟乙烯材质的喷涂管道中,所述挡沿外径与本体外径相匹配。

这样的结构能使内筒与本体稳定连接,同时,连接后其结构紧凑。

在上述的聚四氟乙烯材质的喷涂管道中,所述通孔呈圆柱螺旋形排列并在内筒侧部形成一连接单元,所述连接单元的数量至少为三个且上述连接单元均布在内筒上。

多个连接单元能使内筒与底漆层稳定连接在一起。

在上述的聚四氟乙烯材质的喷涂管道中,所述挡沿上具有凹入的连接座,上述本体端部嵌于连接座处。

这样的结构能使挡沿与本体之间形成预定位,便于本体与内筒之间连接。

在上述的聚四氟乙烯材质的喷涂管道中,所述通孔的尺寸为 2—5厘米。

在上述的聚四氟乙烯材质的喷涂管道中,所述聚四氟乙烯涂层的厚度为0.4—0.6毫米。

在上述的聚四氟乙烯材质的喷涂管道中,所述通孔的深度为 2厘米,所述通孔的上半部填充有聚四氟乙烯涂层,所述通孔的下半部填充有底漆层。

这样的结构能使内筒与底漆层稳定连接的同时,还能使聚四氟乙烯涂层稳定连接在底漆层上。

与现有技术相比,本聚四氟乙烯材质的喷涂管道由于通过内筒能使本体、底漆层和聚四氟乙烯涂层稳定连接在一起,因此,其稳定性比较高。

同时,内筒位于底漆层内的内筒不占用额外空间,结构还比较紧凑,具有很高的实用价值。

附图说明

图1是本聚四氟乙烯材质的喷涂管道的剖视结构示意图。

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