[实用新型]单晶炉装配定位器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉装配定位器。

背景技术

直拉法生长单晶，是将硅多晶原料装在坩蜗内加热熔化，将一个切成特定晶向的细单晶（称为籽晶）的端部，浸入溶体并使其略有熔化，然后控制温度，缓慢地将籽晶垂直提升，拉出的液体固化为单晶。主要工艺步骤为：化料（也叫熔料）、引晶、放肩（也叫缩颈）、转晶、等径、收尾。其中自引晶到收尾环节，晶体提升旋转机构通过籽晶轴（钢缆）带动晶体作逆时针旋转，坩埚提升旋转机构通过托杆托盘带动坩埚作顺时针旋转。为了保障晶体直拉顺利，晶向、晶径等品质有保证，同时也为了避免短路打火，在安装热场的时候要做到整个热场系统对中良好，确保同心度高。当前，所有的对中操作（⑴坩埚轴与加热器的对中，⑵加热器与石墨坩埚的对中，⑶保温罩与加热器的对中，⑷保温盖和加热器的对中）都是通过钢板尺和目测进行的，通过钢板尺测量坩埚轴、加热器、石墨坩埚、保温罩、保温盖的边缘与四周壁的距离是否一致，目测各对中标的物的边缘与四周的缝隙是否均匀。由于单晶炉体内通常有较高的温度，用钢板尺测量起来非常不方便；其次，运用测量和目测的方式，因操作工不同，都会存在一定的测量误差；再次，严格意义上，从大碳毡、炉底护盘、小碳毡、炉底压片、下保温筒到后续的保温筒、保温盖板、导流筒等，都需要进行测量、对中，确保同心度高，操作繁琐，累积误差会越来越大。

发明内容

本实用新型的目的在于解决现有技术存在的上述问题而提供一种单晶炉装配定位器，装配单晶炉时，定位器固定与托杆的装配位置，当定位器对中精确了，在此基础上依次装配单晶炉的相应部件，各个部件装配对中也能够精确，确保同心度高，避免累积误差的出现，完成各部件的装配后，撤离定位器，再在定位器位置装配托杆，托杆的同心度也得到了保证，且操作简单方便。

本实用新型的上述技术目的主要是通过以下技术方案解决的：单晶炉装配定位器，其特征在于定位器为整体部件，其中部具有中空腔体，所述腔体贯穿所述定位器的两端，所述定位器从一端到另一端依次为固定连接部、第一对中部、第二对中部。装配单晶炉时，定位器固定与托杆的装配位置，当定位器对中精确了，在此基础上依次装配单晶炉的相应部件，各个部件装配对中也能够精确，确保同心度高，避免累积误差的出现，完成各部件的装配后，撤离定位器，再在定位器位置装配托杆，托杆的同心度也得到了保证，且操作简单方便。

作为对上述技术方案的进一步完善和补充，本实用新型采用如下技术措施：所述第一对中部和第二对中部为圆柱体，所述第一对中部的直径大于所述第二对中部的直径，所述第一对中部的长度大于所述第二对中部的长度。

为了方便撤离定位器，所述第二对中部的外端具有锥台部。

所述锥台部上的中空腔体的横截面尺寸小于所述固定连接部、第一对中部、第二对中部中的中空腔体的横截面尺寸。

所述固定连接部外壁具有槽环。为了方便撤离定位器，方便吊离机构上的部件与槽环配合，能够稳定吊住定位器，避免定位器吊离过程中滑落而对单晶炉产生破坏作用。

作为优选，所述槽环的外端与所述第一对中部的内端配合。使得槽环内端的固定连接部具有更长的部位，提高固定连接部的强度，有利于保证吊离操作的方便性。

本实用新型具有的有益效果：1、装配单晶炉时，定位器固定与托杆的装配位置，当定位器对中精确了，在此基础上依次装配单晶炉的相应部件，各个部件装配对中也能够精确，确保同心度高，避免累积误差的出现，完成各部件的装配后，撤离定位器，再在定位器位置装配托杆，托杆的同心度也得到了保证，且操作简单方便。2、为了方便撤离定位器，所述第二对中部的外端具有锥台部。3、为了方便撤离定位器，方便吊离机构上的部件与槽环配合，能够稳定吊住定位器，避免定位器吊离过程中滑落而对单晶炉产生破坏作用。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例：如图1所示，单晶炉装配定位器，定位器为整体部件（即各个部位为一体结构），采用与热场一致的同质耐高温材料。定位器的中部具有中空腔体，所述腔体贯穿所述定位器的两端，所述定位器从一端到另一端依次为固定连接部1、第一对中部2、第二对中部3。定位器的第一对中部2、第二对中部3通常情况下为圆柱体，其直径比普通托杆对应部位的直径大，与大碳毡、炉底护盘、小碳毡、炉底压片、下保温筒的内孔径完全一致。