[实用新型]一种硅片生产用炉体自动上下料机构

权利要求书

1.一种硅片生产用炉体自动上下料机构，包括炉体本体，其特征在于：所述炉体本体连接设备框架，所述设备框架上依次设置上料机构、下料机构，所述上料机构与水平面设置小于10°的倾角，所述设备框架上设置机械手，用于抓取移载硅片，所述上料机构、所述下料机构和所述机械手均通过控制系统控制。

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用炉体自动上下料机构，其特征在于：所述上料机构包括上料工位，上料传动装置和上料定位装置，其中，所述上料工位用于存放上料装载装置，所述上料传动装置包括上料气缸和上料托板，所述上料气缸带动所述上料托板传动，所述上料定位装置包括挡块一，所述上料定位装置设置在所述上料机构末端，用于对所述上料装载装置定位。

3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用炉体自动上下料机构，其特征在于：所述下料机构包括下料工位，下料传动装置和下料定位装置，其中，所述下料工位用于存放下料装载装置，所述下料传动装置包括下料气缸和下料托板，所述下料气缸带动所述下料托板传动，所述下料定位装置包括挡块二，所述下料定位装置设置在所述下料机构始端，用于对所述下料装载装置定位。

4.根据权利要求1-3任一所述的一种硅片生产用炉体自动上下料机构，其特征在于：所述机械手连接真空装置，所述机械手臂上设置吸盘。

5.根据权利要求4所述的一种硅片生产用炉体自动上下料机构，其特征在于：还包括设置在所述下料机构后的盛载装置，所述盛载装置包括槽棒、第一吊装板和第二吊装板，所述第一吊装板和所述第二吊装板分别设置在所述槽棒的两侧，所述槽棒上设置片槽，所述片槽结构为下部具有固定槽的V形槽，所述固定槽的张开角度小于所述V形槽的张开角度，所述第一吊装板和所述第二吊装板的外表面均设置一对凸块，每个所述凸块上设置均吊钩状吊装口。

6.根据权利要求5所述的一种硅片生产用炉体自动上下料机构，其特征在于：所述设备框架上还设置桨和丝杠传动机构，所述丝杠传动机构设置在靠近所述炉体本体的炉口端，所述桨的一端固定安装在所述丝杠传动机构上，所述桨的另一端上放置所述盛载装置。

7.根据权利要求6所述的一种硅片生产用炉体自动上下料机构，其特征在于：所述片槽与竖直面呈小于10°的夹角，所述夹角与所述倾角的角度相同。

8.根据权利要求6所述的一种硅片生产用炉体自动上下料机构，其特征在于：所述上料机构与水平成3°的倾角，所述片槽与竖直面呈3°的夹角。

9.根据权利要求5-8任一所述的一种硅片生产用炉体自动上下料机构，其特征在于：所述固定槽的底部为平面，所述固定槽为U形、矩形或梯形结构。

10.根据权利要求4所述的一种硅片生产用炉体自动上下料机构，其特征在于：所述机械手吸盘厚度为2mm-5mm。