[实用新型]圆形硅片装载装置

权利要求书

1.圆形硅片装载装置，其特征在于：包括槽棍、第一吊装板和第二吊装板，所述第一吊装板和所述第二吊装板分别设置在所述槽棍两端，所述槽棍与所述第一吊装板、所述槽棍与所述第二吊装板均采用螺纹连接，所述第一吊装板和所述第二吊装板上均设置吊装口，所述吊装口设置在所述第一吊装板和所述第二吊装板的顶部，所述槽棍上设置片槽，所述片槽结构为下部具有固定槽的V形槽，所述固定槽的底部为平面。

2.根据权利要求1所述的圆形硅片装载装置，其特征在于：所述第一吊装板和所述第二吊装板上均设置导水口，所述导水口至少设置一个。

3.根据权利要求1所述的圆形硅片装载装置，其特征在于：所述第一吊装板和所述第二吊装板上均设置至少两个所述吊装口，所述吊装口设置为吊钩状。

4.根据权利要求2所述的圆形硅片装载装置，其特征在于：所述导水口设置为一个，所述导水口位于所述两个吊装口之间，所述导水口的底部高于所述槽棍的顶部。

5.根据权利要求2所述的圆形硅片装载装置，其特征在于：所述导水口设置为四个，其中，导水口一位于两个所述吊装口之间，导水口二、导水口三和导水口四沿吊装板的中心位置周向排布。

6.根据权利要求1所述的圆形硅片装载装置，其特征在于：所述片槽与竖直面呈3°的夹角。

7.根据权利要求1-6任一所述的圆形硅片装载装置，其特征在于：所述固定槽的张开角度小于所述V形槽的张开角度。

8.根据权利要求1所述的圆形硅片装载装置，其特征在于：所述槽棍两端均设有外螺纹，其中，一端为左旋外螺纹，另一端为右旋外螺纹，所述槽棍两端内部为中空结构，内部设有右旋内螺纹。

9.根据权利要求7所述的圆形硅片装载装置，其特征在于：所述固定槽为U形、矩形或梯形结构。

10.根据权利要求1所述的圆形硅片装载装置，其特征在于：所述圆形硅片装载装置采用聚偏氟乙烯PVDF树脂/PFA氟塑料。