[实用新型]一种集成Z轴的高频高速主轴装置

权利要求书

1.一种集成Z轴的高频高速主轴装置，其特征在于，包括：壳体、和均设置在所述壳体内的芯轴、径向气浮轴承、轴向气浮轴承和旋转力矩电机以及线性电机；

所述芯轴通过所述径向气浮轴承支撑连接在所述壳体内，所述旋转力矩电机的动子固定在所述芯轴上，所述旋转力矩电机的定子固定在所述壳体的内部，所述芯轴的第一端部通过所述轴向气浮轴承和所述线性电机耦合连接，所述线性电机的定子固定在所述壳体第一端部的内壁，所述线性电机的动子和所述轴向气浮轴承连接，所述芯轴的第二端部连接有刀具，所述壳体内还设有用于检测所述芯轴轴向移动距离的光栅尺检测装置。

2.根据权利要求1所述的集成Z轴的高频高速主轴装置，其特征在于，所述壳体包括依次对接的第一端壳、第一圆筒、第二圆筒、第三圆筒和第二端壳；

所述线性电机和所述光栅尺检测装置位于所述第一端壳内；

所述轴向气浮轴承位于所述第一圆筒内；

所述旋转力矩电机位于所述第二圆筒内；

所述径向气浮轴承位于所述第一圆筒内；

所述第二端壳上设有通孔，所述芯轴的第二端部设有刀具夹持端，所述夹持端通过所述通孔延伸至所述第二端壳外部。

3.根据权利要求2所述的集成Z轴的高频高速主轴装置，其特征在于，所述线性电机动子通过过渡圆柱和所述轴向气浮轴承连接，所述过渡圆柱上设有光栅尺安装板，所述线性电机的定子上设有光栅尺读数头安装板。

4.根据权利要求3所述的集成Z轴的高频高速主轴装置，其特征在于，所述芯轴的第一端部的末端设有第一凸缘，所述芯轴的第一端部的外侧壁上套设有端盖，所述第一凸缘位于所述端盖和所述轴向气浮轴承构成的第一腔室内。

5.根据权利要求4所述的集成Z轴的高频高速主轴装置，其特征在于，所述旋转力矩电机的动子通过径向力环、顶环和锁紧螺母固定在所述芯轴上。

6.根据权利要求5所述的集成Z轴的高频高速主轴装置，其特征在于，所述径向气浮轴承的一端外侧设有环形凸台，所述第二端壳和所述第三圆筒分别连接在所述环形凸台的两侧，所述芯轴的第二端部设有第二凸缘，所述第二凸缘位于所述第二端壳和所述环形凸台构成的第二腔室内。